如何选购适合半导体专用的大气机械手臂运用于EFEM设备上

从φ150mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因。Robot被分为Liner与Scara两种,ScaraType在φ200mm及之后晶圆制造中运用较多。采购Robot通常有两种情况,一为只单纯买一个Robot,不需要配合其它外围做运用。二为需要搭配外围做整合蛐集成,此种方式在半导体业较为普及,但是也较为复杂。现以布鲁克斯穴Brooks雪在设备自动化整合方面的经验,与国内业界友人一同探讨选购Robot的诀窍及注意事项。