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闭环微加速度计非线性补偿
被引量:
1
1
作者
谢国芬
杜连明
+1 位作者
刘显学
唐彬
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第5期292-297,共6页
离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环平衡时结构非对称...
离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环平衡时结构非对称因子后推导出导致非线性的公式,找到了影响闭环平衡后结构非对称的三个主要因数:寄生电容、结构本身不对称和伺服电路零位的偏差。分析了各个因素在闭环平衡状态对结构非对称的影响原理后,相应提出了提高加速度计线性度的方法。最后介绍了非线性补偿的工程实现方法,并对环境温度变化较大时的补偿方法给出了建议。实验表明,该技术切实可行,能将加速度计的非线性特性提高将近一个数量级。
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关键词
微加速度计
非对称因子
寄生电容
电路零偏
非线性补偿
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职称材料
题名
闭环微加速度计非线性补偿
被引量:
1
1
作者
谢国芬
杜连明
刘显学
唐彬
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第5期292-297,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2010A0302013)
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(2012CJMZZ00003)
文摘
离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环平衡时结构非对称因子后推导出导致非线性的公式,找到了影响闭环平衡后结构非对称的三个主要因数:寄生电容、结构本身不对称和伺服电路零位的偏差。分析了各个因素在闭环平衡状态对结构非对称的影响原理后,相应提出了提高加速度计线性度的方法。最后介绍了非线性补偿的工程实现方法,并对环境温度变化较大时的补偿方法给出了建议。实验表明,该技术切实可行,能将加速度计的非线性特性提高将近一个数量级。
关键词
微加速度计
非对称因子
寄生电容
电路零偏
非线性补偿
Keywords
micro-accelerometer
asymmetry factor
parasitic capacitance
zero deviation of circuit
nonlinearity compensation
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
闭环微加速度计非线性补偿
谢国芬
杜连明
刘显学
唐彬
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
1
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职称材料
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