闭环微加速度计非线性补偿

离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义。推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析。在引入闭环平衡时结构非对称因子后推导出导致非线性的公式,找到了影响闭环平衡后结构非对称的三个主要因数:寄生电容、结构本身不对称和伺服电路零位的偏差。分析了各个因素在闭环平衡状态对结构非对称的影响原理后,相应提出了提高加速度计线性度的方法。最后介绍了非线性补偿的工程实现方法,并对环境温度变化较大时的补偿方法给出了建议。实验表明,该技术切实可行,能将加速度计的非线性特性提高将近一个数量级。