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采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构
被引量:
5
1
作者
李含雁
白国栋
+2 位作者
李兴辉
唐烨
冯进军
《太赫兹科学与电子信息学报》
2013年第4期527-530,共4页
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其...
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其原因,得出最佳工艺。另外,本文还对去胶进行了初步研究,获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。
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关键词
紫外光刻
电铸和注塑技术
SU8胶模
曝光量
340
GHz折叠波导
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职称材料
题名
采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构
被引量:
5
1
作者
李含雁
白国栋
李兴辉
唐烨
冯进军
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
2013年第4期527-530,共4页
文摘
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其原因,得出最佳工艺。另外,本文还对去胶进行了初步研究,获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。
关键词
紫外光刻
电铸和注塑技术
SU8胶模
曝光量
340
GHz折叠波导
Keywords
Ultraviolet Lithographie,Galvanoformung and Abformung technique
SU8
exposuredosage
340 GHz Folded Waveguide
分类号
TN103 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构
李含雁
白国栋
李兴辉
唐烨
冯进军
《太赫兹科学与电子信息学报》
2013
5
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