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薄膜混合微电路双面电阻图形制作技术
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作者 张峤 谢杰林 +1 位作者 张宝善 徐晨 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1997年第2期14-16,共3页
本文简要从版图设计、工艺等方面介绍薄膜双面电阻图形的制作技术.薄膜双面电阻图形基饭附会标准要求,可实现小批量生产。依此基板研制了LHB2004带温控正、负恒流源混合微电路。
关键词 设计 薄膜混合微电路 版图 电阻基片
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