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基于金属氧化物薄膜的电阻式非挥发性随机存储器
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作者 季振国 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期754-754,共1页
关键词 随机存储器 非挥发性 金属氧化物薄膜 电阻 工艺兼容性 硅集成电路 开关效应 脉冲触发
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电阻开关式非挥发性随机存储器的机理及其材料 被引量:6
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作者 季振国 陈伟峰 毛启楠 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期195-204,共10页
在众多新型非挥发存储器中,电阻式存储器具有结构简单,存储密度高,读写速度快,数据保持时间长,制作方法与传统CMOS工艺兼容性好等优点成为研究的热点。本文简要回顾了电阻式存储器器件的结构、机制、材料以及制备方法,并讨论了电阻式存... 在众多新型非挥发存储器中,电阻式存储器具有结构简单,存储密度高,读写速度快,数据保持时间长,制作方法与传统CMOS工艺兼容性好等优点成为研究的热点。本文简要回顾了电阻式存储器器件的结构、机制、材料以及制备方法,并讨论了电阻式存储器的单极性和双极性电阻开关特性,最后着重介绍了电阻开关特性的块体主导机制和界面主导机制。 展开更多
关键词 电阻存储器 非挥发性 随机存储器 电阻开关
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高密度、低功耗电阻式相变存储器技术研究
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《中国科技成果》 2014年第16期17-17,21,共2页
相变随机存储器是一种电阻式存储器,它以硫属化合物为储存介质,利用电流产生的热量使材料在晶态(低阻相)与非晶态(高阻相)之间相互转换实现信息的写入和擦除,信息的读出则靠测量材料在晶态和与非晶态时电阻的变化来实现。相变随... 相变随机存储器是一种电阻式存储器,它以硫属化合物为储存介质,利用电流产生的热量使材料在晶态(低阻相)与非晶态(高阻相)之间相互转换实现信息的写入和擦除,信息的读出则靠测量材料在晶态和与非晶态时电阻的变化来实现。相变随机存储器具有尺寸越小、工作面积越小、操作电流越小、功耗越低及性能越优越的特点,非常有利于存储密度的提高,极其适合用作下一代高密度、低功耗随机存储器。相变存储器表现出的技术优势还包括:制造工艺简单(能和现在的集成电路工艺很好地匹配)、高速擦写、读写寿命长、可多值存储、抗辐射等。由于相变存储器表现出的显著技术优势,国际半导体工业协会认为,相变存储器最有可能成为下一代半导体存储器主流产品。 展开更多
关键词 相变存储器 电阻 低功耗 高密度 技术 随机存储器 集成电路工艺 半导体存储器
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FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展 被引量:3
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期195-209,共15页
集成电路在后摩尔时代的发展呈现出多模式创新的特点。综述了后摩尔时代中两大创新发展热点,即鳍式场效应晶体管/环绕栅场效应晶体管(FinFET/GAAFET)纳电子学和基于深度学习新算法的人工智能(AI)芯片,并介绍了其发展历程和近两年的最新... 集成电路在后摩尔时代的发展呈现出多模式创新的特点。综述了后摩尔时代中两大创新发展热点,即鳍式场效应晶体管/环绕栅场效应晶体管(FinFET/GAAFET)纳电子学和基于深度学习新算法的人工智能(AI)芯片,并介绍了其发展历程和近两年的最新进展。在FinFET/GAAFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基CMOS集成电路的发展现状,包含Intel的IDM模式、三星和台积电的代工模式3种技术路线,及其覆盖了22、14、10、7和5 nm集成电路纳电子学的5代技术各自的创新特点,以及未来3和2 nm技术节点GAAFET的各种创新结构的前瞻性技术研究。摩尔定律的继续发展将以Si基FinFET和GAAFET的技术发展为主。在AI芯片领域,综述并分析了数字AI芯片和模拟AI芯片的发展现状,包含神经网络云端和边缘计算应用的处理器(图像处理器(GPU)、张量处理器(TPU)和中央处理器(CPU))、加速器和神经网络处理器(NPU)等的计算架构的创新,各种神经网络算法和计算架构结合的创新,以及基于存储中计算新模式的静态随机存取存储器(SRAM)和电阻式随机存取存储器(RARAM)的创新。人工智能芯片的创新发展可弥补后摩尔时代集成电路随晶体管密度上升而计算能力增长缓慢的不足。 展开更多
关键词 场效应晶体管(FinFET) 环绕栅场效应晶体管(GAAFET) 互补场效应晶体管(CFET) 人工智能(AI)芯片 图像处理器(GPU) 张量处理器(TPU) 神经网络处理器(NPU) 存储中计算 静态随机存取存储器(SRAM) 电阻随机存取存储器(RARAM)
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FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展(续) 被引量:2
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第4期293-305,共13页
集成电路在后摩尔时代的发展呈现出多模式创新的特点。综述了后摩尔时代中两大创新发展热点,即鳍式场效应晶体管/环绕栅场效应晶体管(FinFET/GAAFET)纳电子学和基于深度学习新算法的人工智能(AI)芯片,并介绍了其发展历程和近两年的最新... 集成电路在后摩尔时代的发展呈现出多模式创新的特点。综述了后摩尔时代中两大创新发展热点,即鳍式场效应晶体管/环绕栅场效应晶体管(FinFET/GAAFET)纳电子学和基于深度学习新算法的人工智能(AI)芯片,并介绍了其发展历程和近两年的最新进展。在FinFET/GAAFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基CMOS集成电路的发展现状,包含Intel的IDM模式、三星和台积电的代工模式3种技术路线,及其覆盖了22、14、10、7和5 nm集成电路纳电子学的5代技术各自的创新特点,以及未来3和2 nm技术节点GAAFET的各种创新结构的前瞻性技术研究。摩尔定律的继续发展将以Si基FinFET和GAAFET的技术发展为主。在AI芯片领域,综述并分析了数字AI芯片和模拟AI芯片的发展现状,包含神经网络云端和边缘计算应用的处理器(图像处理器(GPU)、张量处理器(TPU)和中央处理器(CPU))、加速器和神经网络处理器(NPU)等的计算架构的创新,各种神经网络算法和计算架构结合的创新,以及基于存储中计算新模式的静态随机存取存储器(SRAM)和电阻式随机存取存储器(RARAM)的创新。人工智能芯片的创新发展可弥补后摩尔时代集成电路随晶体管密度上升而计算能力增长缓慢的不足。 展开更多
关键词 场效应晶体管(FinFET) 环绕栅场效应晶体管(GAAFET) 互补场效应晶体管(CFET) 人工智能(AI)芯片 图像处理器(GPU) 张量处理器(TPU) 神经网络处理器(NPU) 存储中计算 静态随机存取存储器(SRAM) 电阻随机存取存储器(RARAM)
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基于第一性原理计算的ZrO_2材料的掺杂阻变特性 被引量:2
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作者 周星 王建军 +1 位作者 高珊 陈军宁 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期760-764,共5页
阻变式随机存储器(RRAM)是目前新型存储器领域的研究热点。基于ZrO2材料,选取Al和Ag作为杂质元素。采用第一性原理方法计算了掺杂条件下ZrO2中氧空位的形成能、氧空位之间的作用能等重要参量。Al(富余)掺杂下,氧空位之间的相互作用能成... 阻变式随机存储器(RRAM)是目前新型存储器领域的研究热点。基于ZrO2材料,选取Al和Ag作为杂质元素。采用第一性原理方法计算了掺杂条件下ZrO2中氧空位的形成能、氧空位之间的作用能等重要参量。Al(富余)掺杂下,氧空位之间的相互作用能成负值,相互吸引抱团形成导电细丝,阻变特性明显改善,氧空位主导细丝形成。这与相关的实验结果是一致的。Ag掺杂下,Ag的金属性强,氧空位之间相互作用能全为正值,相互排斥。通过模拟观察,Ag主导了细丝形成,并改善了ZrO2材料的阻变特性。 展开更多
关键词 阻变随机存储器rram 掺杂 导电细丝 相互作用能 氧空位
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Cu/TiOx/Al阻变存储器激活过程的研究
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作者 陈长军 宗庆猛 +2 位作者 蒋浩 周立伟 吕联荣 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期433-438,共6页
为了拓展光电器件在存储领域的应用以及更深入地了解阻变机理,研究了Cu/TiOx/Al电阻式随机存储器(RRAM)的激活(forming)过程,其中TiOx为透明薄膜。利用磁控反应溅射方法,通过改变O2分压制备出具有高折射率(在可见光区域平均值约2.23)和... 为了拓展光电器件在存储领域的应用以及更深入地了解阻变机理,研究了Cu/TiOx/Al电阻式随机存储器(RRAM)的激活(forming)过程,其中TiOx为透明薄膜。利用磁控反应溅射方法,通过改变O2分压制备出具有高折射率(在可见光区域平均值约2.23)和低消光系数(在可见光区域平均值约0.004 2)的透明TiOx薄膜。通过构建Cu/TiOx/Al三明治结构验证了透明TiOx薄膜的阻变存储特性。在阻变过程中,通过调节forming电压和电流,实现了透明TiOx薄膜的阶段性forming。对不同forming阶段的I-V拟合,进一步探索透明TiOx薄膜forming过程的电子传输方式。结果表明,随着forming的发展,透明器件的传输机理发生明显改变,由肖特基发射(SE)转变为FN隧穿,直接隧穿,到最后的欧姆传输,最终实现完整的forming。揭示了TiOx薄膜应用于可见光波段光电存储器件的可行性。 展开更多
关键词 光学 电阻随机存储器(rram) TiOx薄膜 传输机理
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An overview of resistive random access memory devices 被引量:9
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作者 LI YingTao LONG ShiBing +3 位作者 LIU Qi LU HangBing LIU Su LIU Ming 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2011年第28期3072-3078,共7页
With recent progress in material science, resistive random access memory (RRAM) devices have attracted interest for nonvolatile, low-power, nondestructive readout, and high-density memories. Relevant performance param... With recent progress in material science, resistive random access memory (RRAM) devices have attracted interest for nonvolatile, low-power, nondestructive readout, and high-density memories. Relevant performance parameters of RRAM devices include operating voltage, operation speed, resistance ratio, endurance, retention time, device yield, and multilevel storage. Numerous resistive-switching mechanisms, such as conductive filament, space-charge-limited conduction, trap charging and discharging, Schottky Emission, and Pool-Frenkel emission, have been proposed to explain the resistive switching of RRAM devices. In addition to a discussion of these mechanisms, the effects of electrode materials, doped oxide materials, and different configuration devices on the resistive-switching characteristics in nonvolatile memory applications, are reviewed. Finally, suggestions for future research, as well as the challenges awaiting RRAM devices, are given. 展开更多
关键词 随机存取存储器 电阻 记忆体 装置 非破坏性读出 非易失性 肖特基发射 氧化物材料
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Improving the electrical performance of resistive switching memory using doping technology 被引量:6
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作者 WANG Yan LIU Oi +7 位作者 LU HangBing LONG ShiBing WANG Wei LI YingTao ZHANG Sen LIAN WenTai YANG JianHong LIU Ming 《Chinese Science Bulletin》 SCIE CAS 2012年第11期1235-1240,共6页
In this paper, improvements of resistive random access memory (RRAM) using doping technology are summarized and analyzed. Based on a Cu/ZrO2/Pt device, three doping technologies with Ti ions, Cu, and Cu nanocrystal, r... In this paper, improvements of resistive random access memory (RRAM) using doping technology are summarized and analyzed. Based on a Cu/ZrO2/Pt device, three doping technologies with Ti ions, Cu, and Cu nanocrystal, respectively, are adopted in the experiments. Compared to an undoped device, improvements focus on four points: eliminating the electroforming process, reducing operation voltage, improving electrical uniformity, and increasing device yield. In addition, thermal stability of the high resistance state and better retention are also achieved by the doping technology. We demonstrate that doping technology is an effective way of improving the electrical performance of RRAM. 展开更多
关键词 掺杂技术 电气性能 电阻 记忆体 兴奋剂 随机存取存储器 纳米晶体 电铸工艺
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