化学染色法测量B,Al及P扩散结深

采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液。同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数。

多晶电阻工艺监控与影响因素研究

首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。

中金高炉水系统在线清洗预膜的腐蚀监测系统设计及应用

通过对各种腐蚀监测技术进行比较和分析,选用腐蚀挂片法、电阻探针法、电指纹仪和超声方法对高炉水系统进行腐蚀监测实验,并对电阻探针和FSM数据失真的原因进行了分析,制定了定期清洗探头、检查电源模块输入电流等多种措施。实验结果表明,系统整体腐蚀速率较低,均在0.076 mm/a以下,符合腐蚀标准规范,系统优化后,电阻探针的正常运行率达到90%以上,电指纹正常运行率达到60%以上,具有更高的运行效率。

石化行业常用腐蚀监测技术综述

针对石化行业中现有的腐蚀监测技术,本文对当前普遍使用的4种技术进行了综述:挂片失重法、电阻探针法、电感探针法、超声波在线测厚技术。重点是前四种腐蚀监测基本工作原理以及它们各自的优缺点。在此基础上,引入近几年发展很快,且综合技术优良的场指纹法(FSM),着重说明工作原理、目前的现场应用情况以及它的特点和局限性。通过对这几种腐蚀监测技术的阐述,为相关企业提供有益的参考。