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题名镍基合金上FeCrAl薄膜应变计的制备与性能
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作者
陈长源
周世威
周枳仲
蒋书文
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机构
电子科技大学集成电路科学与工程学院电子薄膜与集成器件全国重点实验室
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出处
《中国仪器仪表》
2024年第11期69-73,共5页
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基金
国家重点研发计划(2021YFB3801700)
航空科学基金(20200046080001)。
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文摘
薄膜应变计是航空发动机涡轮叶片应变测量的可靠选择。本文以FeCrAl合金为敏感材料,在镍基合金DD6上制备了多层薄膜材料体系的FeCrAl薄膜应变计,并测试了不同温度环境下应变计的应变性能。结果表明,20℃,200℃,400℃和600℃时的应变灵敏系数为2.41,2.68,3.16和3.70;200℃,400℃和600℃的电阻温度系数为567.5ppm/℃,534.1ppm/℃,517.3ppm/℃,电阻漂移率为0.00118h^(-1),0.00167h^(-1),0.00181h^(-1)。
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关键词
薄膜应变计
FeCrAl合金
应变灵敏系数
电阻温度系数
电阻漂移率
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Keywords
Thin film strain gauge
FeCrAl alloy
Gauge facto
Temperature coefficient of resistance
Drift rate
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分类号
TG1
[金属学及工艺—金属学]
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题名片式电阻保护浆料的制备
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作者
张国春
高伟
韩文
杨宗炼
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机构
贵州省轻工业科学研究所
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期27-28,共2页
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基金
贵州省科学技术基金资助项目[黔基合计字(2002)3030号]
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文摘
通过与日本样进行对比试验,研究了片式电阻保护浆料的制备工艺及要求。分析了玻璃组成和浆料配方对元件电阻值漂移的影响,并对其保护机理进行了探讨。制备的浆料达到日本样技术指标的要求。利用4号玻璃组分的1MΩ片电阻的阻值漂移率最小为0.9%
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关键词
电子技术
保护浆料
电阻漂移率
电阻膜
附着强度
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Keywords
electron technology
protective paste
resistance fluctuating
resistor film
adhesion strength
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分类号
TN604
[电子电信—电路与系统]
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