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DCIV技术表征MOS/SOI界面陷阱能级密度分布 被引量:3
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作者 赵洪利 曾传滨 +3 位作者 刘魁勇 刘刚 罗家俊 韩郑生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期63-67,共5页
基于直流电流电压(DCIV)理论和界面陷阱能级U型对称分布模型,可以获取硅界面陷阱在禁带中的分布,即利用沟道界面陷阱引起的界面复合电流与不同源/漏-体正偏电压(Vpn)的函数关系,求出对应每个Vpn的有效界面陷阱面密度(Neff),通过Neff函... 基于直流电流电压(DCIV)理论和界面陷阱能级U型对称分布模型,可以获取硅界面陷阱在禁带中的分布,即利用沟道界面陷阱引起的界面复合电流与不同源/漏-体正偏电压(Vpn)的函数关系,求出对应每个Vpn的有效界面陷阱面密度(Neff),通过Neff函数与求出的每个Neff值作最小二乘拟合,将拟合参数代入界面陷阱能级密度(DIT)函数式,作出DIT的本征分布图。分别对部分耗尽的n MOS/SOI和p MOS/SOI器件进行测试,得到了预期的界面复合电流曲线,并给出了器件界面陷阱能级密度的U型分布图。结果表明,两种器件在禁带中央附近的陷阱能级密度量级均为109cm-2·e V-1,而远离禁带中央的陷阱能级密度量级为1011cm-2·e V-1。 展开更多
关键词 直流电流电压(DCIV) 金属氧化物半导体/绝缘体上硅(MOS/SOI) 有效界面陷阱面密度 最小二乘拟合 U型分布
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DCIV技术提取SOI器件前栅界面与背界面态密度 被引量:1
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作者 赵洪利 高林春 +3 位作者 曾传滨 刘魁勇 罗家俊 韩郑生 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2015年第6期82-84,89,共4页
直流电流电压(DCIV)方法不仅可以提取SOI器件前栅沟道界面态密度,也可应用于背界面态密度的提取.给出了具体的测试步骤与方法,以0.13μm SOI工艺制造的NMOS器件为测试对象,对前栅界面与背界面分别进行了测试.基于DCIV理论,将实验得到的... 直流电流电压(DCIV)方法不仅可以提取SOI器件前栅沟道界面态密度,也可应用于背界面态密度的提取.给出了具体的测试步骤与方法,以0.13μm SOI工艺制造的NMOS器件为测试对象,对前栅界面与背界面分别进行了测试.基于DCIV理论,将实验得到的界面复合电流值与理论公式做最小二乘拟合,不仅获得了各界面态密度,也得到界面态密度所在的等效能级.结果表明,采用了智能剥离技术制备的SOI NMOS器件背界面态密度量级为1010cm-2,前栅界面的态密度小于背界面的,量级为109cm-2,并给出了两界面态面密度所在的等效能级. 展开更多
关键词 DCIV方法 SOI NMOS器件 前栅界面与背界面 界面面密度 等效能级
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竖直管道内闪蒸界面传播现象的数值研究
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作者 乐述文 杜王芳 +1 位作者 李凯 赵建福 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1627-1636,共10页
闪蒸界面传播是一种特殊的闪蒸现象,广泛存在于航天器真空环境下的排液过程中.闪蒸界面传播规律的深入研究是完善闪蒸机制,预测真空排液过程,提升航天活动可控性、安全性的重要前提.闪蒸界面传播现象研究目前主要依赖于实验观测,缺乏适... 闪蒸界面传播是一种特殊的闪蒸现象,广泛存在于航天器真空环境下的排液过程中.闪蒸界面传播规律的深入研究是完善闪蒸机制,预测真空排液过程,提升航天活动可控性、安全性的重要前提.闪蒸界面传播现象研究目前主要依赖于实验观测,缺乏适合的数值方法.为了避免跨尺度模拟带来的庞大计算量,文章对计算域进行分区,在各分区内建立面密度模型,实现了单一工况下的闪蒸界面传播二维数值模拟.在此基础上,还提出闪蒸界面面密度的气相Weber数修正模型.该模型对不同温度压力条件下的界面微观形态特征进行代数表征,从而令数值模拟能够计算预测不同温度和压力工况条件下的闪蒸界面传播表观速度.最后,模拟了相同出口压力、不同名义过热度条件下的闪蒸界面传播现象,以及相同名义过热度、不同出口压力条件下的传播现象.计算结果表明,当出口压力恒定时,闪蒸界面处的真实过热度以及界面传播表观速度都随名义过热度的增加而增加.且在过热度较小时,真实过热度以及名义过热度都与闪蒸界面传播表观速度之间近似呈线性关系.当名义过热度恒定时,闪蒸界面传播表观速度会随出口压力的增加而增加. 展开更多
关键词 闪蒸 界面 界面面密度 传播速度 过热度
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First Principles Study of Half-metallic Properties at MnSb/GaSb(001) Interface 被引量:1
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作者 Elmira Sartipi Alireza Hojabri +1 位作者 Arash Bouchani Mohammad Homayion Shakib 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2011年第2期155-161,I0003,共8页
Density functional theory calculations are performed to study the structural, electronic and magnetic properties of hexagonal NiAs type and cubic zinc blende type MnSb structure and interface of zinc blende MnSb with ... Density functional theory calculations are performed to study the structural, electronic and magnetic properties of hexagonal NiAs type and cubic zinc blende type MnSb structure and interface of zinc blende MnSb with GaSb(001). We used generalized gradiant approximation to calculate the exchange-correlation term in bulk and interface determination. The zinc blende structure of MnSb is found to be ferromagnetic half-metal with a total moment of 4 μB per formula unit. Results show that the half-metallicity character is preserved at MnSb/GaSb(001) interface. The magnetic moment of Mn atom in interface is reduced and the magnetic moment of the interface Sb atom is equal to the average of the corresponding bulk values in two sides of the interface. The band alignment properties are also computed and a rather large minority valance band offset of about 1.25 eV is obtained in this heterojunction. 展开更多
关键词 SPINTRONIC Surface INTERFACE Density functional theory
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Inversion of 3D density interface with PSO-BP method 被引量:4
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作者 ZHANG Dailei ZHANG Chong 《Global Geology》 2016年第1期33-40,共8页
BP( Back Propagation) neural network and PSO( Particle Swarm Optimization) are two main heuristic optimization methods,and are usually used as nonlinear inversion methods in geophysics. The authors applied BP neural n... BP( Back Propagation) neural network and PSO( Particle Swarm Optimization) are two main heuristic optimization methods,and are usually used as nonlinear inversion methods in geophysics. The authors applied BP neural network and BP neural network optimized with PSO into the inversion of 3D density interface respectively,and a comparison was drawn to demonstrate the inversion results. To start with,a synthetic density interface model was created and we used the proceeding inversion methods to test their effectiveness. And then two methods were applied into the inversion of the depth of Moho interface. According to the results,it is clear to find that the application effect of PSO-BP is better than that of BP network. The BP network structures used in both synthetic and field data are consistent in order to obtain preferable inversion results. The applications in synthetic and field tests demonstrate that PSO-BP is a fast and effective method in the inversion of 3D density interface and the optimization effect is evident compared with BP neural network merely,and thus,this method has practical value. 展开更多
关键词 INVERSION 3D density interface Moho interface BP neural network particle swarm optimization
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