对电子束扫描场畸变表达式的研究

电子束扫描场的畸变校正是电子束曝光机的关键技术之一。在圆形束曝光机的研制中,首次开展了对电子束扫描场的校正工作。本文探讨了扫描场畸变表达式并叙述了获得最佳校正的途径。