常压百级洁净度环境中SiO_2薄膜稳定性

在常压百级洁净度环境下,采用三种不同折射率的SiO_2溶胶在熔石英基底上涂制四种不同薄膜,利用光学理论计算模拟了三种胶体涂制的膜层稳定性,通过实验考查了膜层光学指标随时间的变化规律。SiO_2薄膜能够显著提升光学元件透射率,但由于膜层表面的大量羟基及其多孔结构,SiO_2薄膜易吸附周围环境中的有机污染物及水分填充膜层孔隙,从而导致膜层折射率发生变化,影响膜层透射率、反射率等光学性能。实验结果发现,三种溶胶凝胶化学膜在常压百级环境中的有效期为80d(绝对变化率小于0.1%),且三种胶体涂制的膜层稳定性由高到低依次为折射率1.19,1.15,1.25的膜层。