皮拉尼真空计在钢瓶气充装防爆区的正压设计

对测量高真空皮拉尼真空计应用在压缩钢瓶气充装工厂防爆区域的设计上做了可行性研究。

一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计

微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域。量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一。设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展。以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案。最后通过COMSOL仿真,获得器件气压测量范围可达2.5×10^(-3)~1.15×10^(6)Pa,同时平均灵敏度达到132 mV/dec。相比于现有的单一型和组合式器件,设计的复合式MEMS皮拉尼真空计可以在小尺寸情况下具有更大的量程兼更高的灵敏度。