半导体的脉冲激光微细加工的皮秒动力学特性

讨论了皮秒脉冲激光微细加工时半导体中电子-空穴等离子体的作用及动力学特性。指出高密度电子-空穴等离子体使半导体的介电和光特性发生了显著变化。通过测量材料表面反射比的实验表明，它与热熔化模型比较符合，等离子体将能量瞬时转换给晶格，加热晶格到熔点，从而进行微细加工。