蓝宝石飞秒激光直冲孔加工研究

为了在电子衬底蓝宝石表面加工多种尺寸的微孔结构,课题组采用飞秒激光直冲方式进行蓝宝石表面微孔加工,通过实验探索了激光脉冲数、单脉冲能量和重复频率对孔直径和孔表面形貌的影响规律。研究结果表明:在不同单脉冲能量下,孔径均在脉冲数为50 000左右达到饱和;孔径均随着单脉冲能量和重复频率的增加而增加;飞秒激光加工蓝宝石孔口周围均无喷溅物,主要的缺陷为孔口裂纹,且裂纹数量和尺寸普遍表现为随激光加工参数的增大而增大。