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高分辨率丝网掩模版制作工艺研究 被引量:2
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作者 周冬莲 何中伟 《集成电路通讯》 2004年第1期1-6,共6页
简要介绍了目前丝网掩模版制作的几种方法,重点介绍了影响"直接感光胶乳剂膜"和"毛细管软片乳剂膜"两种掩模版质量各种可能因素。针对掩模版制作工艺中的常见问题,提出了解决办法。
关键词 丝网掩模版 直接感光胶乳剂膜 毛细管软片乳剂 分辨率 制作方法
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