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高分辨率丝网掩模版制作工艺研究
被引量:
2
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作者
周冬莲
何中伟
《集成电路通讯》
2004年第1期1-6,共6页
简要介绍了目前丝网掩模版制作的几种方法,重点介绍了影响"直接感光胶乳剂膜"和"毛细管软片乳剂膜"两种掩模版质量各种可能因素。针对掩模版制作工艺中的常见问题,提出了解决办法。
关键词
丝网掩模版
直接感光胶乳剂膜
毛细管软片
乳剂
膜
分辨率
制作方法
下载PDF
职称材料
题名
高分辨率丝网掩模版制作工艺研究
被引量:
2
1
作者
周冬莲
何中伟
机构
中国兵器工业第
出处
《集成电路通讯》
2004年第1期1-6,共6页
文摘
简要介绍了目前丝网掩模版制作的几种方法,重点介绍了影响"直接感光胶乳剂膜"和"毛细管软片乳剂膜"两种掩模版质量各种可能因素。针对掩模版制作工艺中的常见问题,提出了解决办法。
关键词
丝网掩模版
直接感光胶乳剂膜
毛细管软片
乳剂
膜
分辨率
制作方法
分类号
TS871.13 [轻工技术与工程]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
高分辨率丝网掩模版制作工艺研究
周冬莲
何中伟
《集成电路通讯》
2004
2
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