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母盘刻录技术新进展
1
作者
蒋培军
范晓东
+2 位作者
钱坤
徐端颐
齐国生
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期822-826,共5页
介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
关键词
母盘
刻
录
电子束
近场
超分辨技术
直接母盘刻录系统
下载PDF
职称材料
题名
母盘刻录技术新进展
1
作者
蒋培军
范晓东
钱坤
徐端颐
齐国生
机构
清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期822-826,共5页
基金
973国家重点基础研究规划资助项目(G19990330)
文摘
介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展。指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景。
关键词
母盘
刻
录
电子束
近场
超分辨技术
直接母盘刻录系统
Keywords
disk mastering
electron beam
near field
super resolution technology
direct mastering system
分类号
TP333.4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
母盘刻录技术新进展
蒋培军
范晓东
钱坤
徐端颐
齐国生
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005
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