高通量(场发射)扫描电子显微镜技术进展

本文重点阐述高通量扫描电镜概念与发展的过程,具体介绍了高通量扫描电镜拟要解决的问题和对应的设计思路,给出了综合数据通量的定义和影响因素。同时阐述了相应的实现手段,分别从重要模组角度介绍高通量扫描电镜的核心性能。通过实际案例计算,分析比较了高通量扫描电镜与标准场发射扫描电镜间的结果差异。探讨了高通量扫描电镜适合应用的领域,同时指出了目前的设计还存在的不足并展望该技术今后的发展前景。