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压电超声微电机的研究现状与应用前景
被引量:
4
1
作者
栗大超
靳世久
+1 位作者
曾周末
赵伯雷
《微电机》
2001年第3期31-34,共4页
从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。
关键词
压电超声微电机
MEMS
直梁结构
压电材料
下载PDF
职称材料
题名
压电超声微电机的研究现状与应用前景
被引量:
4
1
作者
栗大超
靳世久
曾周末
赵伯雷
机构
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
出处
《微电机》
2001年第3期31-34,共4页
基金
教育部博士点基金资助课题 (19990 0 5 6 0 7)
文摘
从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。
关键词
压电超声微电机
MEMS
直梁结构
压电材料
Keywords
piezoelectric ultrasonic micro motor
MEMS
research status
development direction
key technology
application future
分类号
TM38 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电超声微电机的研究现状与应用前景
栗大超
靳世久
曾周末
赵伯雷
《微电机》
2001
4
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