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压电超声微电机的研究现状与应用前景 被引量:4
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作者 栗大超 靳世久 +1 位作者 曾周末 赵伯雷 《微电机》 2001年第3期31-34,共4页
从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。
关键词 压电超声微电机 MEMS 直梁结构 压电材料
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