改进铜铌溅射型QWR超导腔性能的探讨

通过直流偏压二级溅射方法 ,在无氧铜腔体表面溅射一层铌膜 ,研制了铜铌溅射型射频超导 1 4波长谐振腔(quarterwaveresonator,QWR) ,该腔主要用于重离子的加速 ,是北京放射性核束装置中后加速部分的预研项目 .目前国际上很多实验室都在研究进一步提高铜铌溅射型QWR超导腔的性能 ,通过多种方法的实验研究 ,发现在无氧铜衬底与铌膜之间加入一层氮化铌 (NbN)薄膜 ,可以使得表面铌膜的超导温度转变点由原来的 8 8K提高到了接近9 6K ,该方法有可能成为提高QWR腔加速性能的重要途径 。