一种动静态测量结合及大小数记数分离的直流光栅测试系统

针对直流光栅测试系统分辨率低、精度难以提高的问题,提出了一种动静态测量结合、大小数记数分离的直流光栅测试系统。在光栅付相对移动的动态测量过程中,获得当量数为1/4光栅栅距的大数记数,在相对移动开始之前和结束之后的静态时刻,获得当量数为1/360光栅栅距的小数记数,最后通过大小数的正确结合,获得测量结果。