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行波管折叠波导慢波结构UV-LIGA制备技术中的电铸工艺 被引量:1
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作者 谢云竹 姜琪 +1 位作者 李兴辉 潘攀 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第11期1850-1856,共7页
UV-LIGA是制作行波管(TWT)折叠波导慢波结构的一项重要技术,能够满足行波管对于慢波结构小尺寸、高精度和低表面粗糙度的加工要求。简要介绍了采用UV-LIGA技术制备340 GHz折叠波导慢波结构的工艺流程,主要包括在铜基底上通过光刻工艺制... UV-LIGA是制作行波管(TWT)折叠波导慢波结构的一项重要技术,能够满足行波管对于慢波结构小尺寸、高精度和低表面粗糙度的加工要求。简要介绍了采用UV-LIGA技术制备340 GHz折叠波导慢波结构的工艺流程,主要包括在铜基底上通过光刻工艺制备厚胶膜结构、在厚胶膜结构中进行高精度电铸以及将半封闭铜电铸窄通道中胶膜去除等。对大深度窄缝结构精密电铸工艺进行了详细研究,分析对比脉冲波及三角波的电铸结果,优化工艺参数并尝试工艺组合。结果表明,采用三角波电铸,狭缝和胶膜边缘厚度差为40μm;采用脉冲波和三角波电铸结合方法,得到的电铸结构表面平整,狭缝和胶膜边缘厚度差减小至15μm。最终制备的折叠波导慢波结构与基底结合良好,表面无缺陷,高温处理后无裂纹、无鼓泡,窄边尺寸精度优于2μm,能够满足行波管的应用需求。 展开更多
关键词 UV-LIGA工艺 行波管(TWT) 折叠波导 直流电铸 脉冲波电 三角波电
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基于快速原型的精密模具的电铸工艺研究 被引量:4
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作者 吴福生 丁玉成 王立勇 《机械设计》 CSCD 北大核心 2003年第4期33-35,56,共4页
采用激光快速成型机生产电铸母模来进行快速精密模具的开发与制造。对于快速原型件 ,采用新工艺 ,首先使其导电化 ;再采用脉冲电铸的方法制造模具。同时 ,还将此脉冲电铸新工艺与传统的化学镀工艺及传统的直流电铸方法进行了比较研究。... 采用激光快速成型机生产电铸母模来进行快速精密模具的开发与制造。对于快速原型件 ,采用新工艺 ,首先使其导电化 ;再采用脉冲电铸的方法制造模具。同时 ,还将此脉冲电铸新工艺与传统的化学镀工艺及传统的直流电铸方法进行了比较研究。在电铸成型机上 ,通过对此电铸工艺的研究与实现 ,发现可以大大缩短普通模具 ,甚至复杂模具的制造时间 ,同时也提高了模具的复制精度 ,使之能够应用于精密模具的开发中。 展开更多
关键词 快速原型 化学镀 直流电铸 脉冲电 成型机 精密模具
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DC casting of light alloys under magnetic fields 被引量:2
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作者 崔建忠 张志强 乐启炽 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第11期2046-2050,共5页
The working principle of LFEC(Low frequency electromagnetic casting) process developed in Northeastern University, China was introduced and the metallurgical results of LFEC were discussed according to the casting p... The working principle of LFEC(Low frequency electromagnetic casting) process developed in Northeastern University, China was introduced and the metallurgical results of LFEC were discussed according to the casting practices. The low frequency field around the mold produces Lorenz force, which can be divided into two parts: one is the potential force which will be balanced by a pressure gradient of the liquid and results in the formation of a convex surface meniscus and improves the surface quality; the other is the rotary force which stirs the liquid in the mold to refine the microstructures and homogenize the distribution of alloying elements. LFEC can refine microstructures remarkably, improve surface quality of the ingots, depress macrosegregation and eliminate cracks. Some new technologies, such as horizontal direct chill casting under low-frequency electromagnetic field (HLEC), DC casting of hollow billets under electromagnetic fields (HBEC), electromagnetic modifying of hypereutectic A1-Si alloys(EMM), air film casting under static magnetic field (AFCM), and multi-ingots casting under low-frequency magnetic field (MLFEC) were developed based on LFEC. 展开更多
关键词 low frequency electromagnetic field light alloy DC casting grain refinement
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