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直流辉光等离子体助进热丝CVD法沉积金刚石薄膜 被引量：2
1
作者 韩佳宁 赵庆勋 +1 位作者 文钦若 辛红丽 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2002年第1期48-50,共3页
采用直流辉光等离子体助进热丝 CVD的方法 ,低温 ( 5 5 0～ 6 2 0℃ )沉积得到晶态金刚石薄膜 .经X射线衍射谱、扫描电子显微镜及 Raman光谱分析表明 :稍高气压有利于金刚石薄膜的快速、致密生长 .
关键词 低温生长 金刚石薄膜 直流辉光等离子体助进热丝cvd法 沉积条件 X射线衍射谱 Raman方谱
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