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用直线四探针头测量金属-半导体的接触电阻率 被引量：2
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作者 陈存礼 华文玉 《应用科学学报》 CAS CSCD 1989年第1期61-64,共4页
本文提出一种用直线四探针头测量金属-半导体欧姆接触接触电阻率的简捷方法.导出了适用于薄层半导体材料的接触电阻率表达式,经实验验证结果与线性传输线模型一致.
关键词 直线四探针头 金属-半导体 电阻率
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