基于PD反馈控制的音圈电机直驱式微动台直线度补偿技术

采用高频响、短行程型音圈电机驱动的微动台结构,设计挠性弹簧为系统提供足够的刚度,建立了喷墨打印扫描轴直线度误差补偿系统。分析了音圈电机直驱微动台的数学模型,研究了该类电机的伺服控制方法,提出了基于PD控制的位置闭环控制器,增强了系统的抗干扰能力。试验结果表明:该方法能够满足喷墨打印扫描轴直线度精度要求,具有较强的鲁棒性。