基于XL-80激光干涉仪的直线度误差测量研究

为了提高数控机床的位置精度,通常会检测数控机床导轨的直线度误差。但在检测数控机床导轨的直线度误差时,时常会限制测量范围和精度误差。通过Reinshaw XL-80激光干涉仪可以实现对数控机床导轨的水平和垂直2个方位上的直线度测量。以THWLBTF-3型加工中心为试验平台,采用了Reinshaw XL-80激光干涉仪,通过非接触和在线测量加工中心X轴的直线度误差;通过软件测得试验数据,绘制出最小二乘法曲线图和端点拟合法曲线图,结果表明:加工中心直线度误差的大小是影响数控机床加工精度的重要因素之一。

激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究

介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别。