乱序四点法直线误差分离技术

提出了一种新的时域乱序四点法直线误差分离技术 ,它通过对 4个特定布置传感器的输出数据进行冗余组合和乱序递推 ,能快速精确地分离出工件的直线形状误差和工作台的直行误差运动 .该方法既避免了频域三点法中必须经过正反两次 Fourier变换从而使计算时间相对较长的问题 ,又有利于在线检测与补偿加工 ;同时 ,既克服了时域逐次三点法传感器之间的间距必须等于采样间隔的限制 ,又可以获得更为密集的采集数据 。

传感器调零误差对直线误差分离的影响规律及其确定方法分析

分析了多点法直线 EST中传感器初始调零误差对直线误差分离结果的影响 ,指出不同方法的影响规律不同 :时域三点法中调零误差使直线形状误差按抛物线规律呈非线性增大 ,对直线误差评定产生很大影响 ;时域二点法中调零误差使直线形状误差线性增大 ,但对评定无影响 ;频域三点法的直线误差则不受调零误差的影响。提出了通过构造软基准来确定调零误差的两种方法 :时域频域结合法和对称反转配置法 。