静电梳微谐振子结构中的静力学问题

本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,并对蟹脚型结构的设计进行了优化 ,和国外文献进行了相比 。

静电梳微谐振子结构的力学分析

针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,据此从理论上阐述了在实际中多用直脚型结构的原因。得出了比国外文献更符合实际情况的分析结果。