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Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析 被引量:7
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作者 吴飞斌 唐锋 +2 位作者 王向朝 李杰 李永 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期134-144,共11页
在分析Ronchi相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说... 在分析Ronchi相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说明,八步和十步相移算法可以有效地消除多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响,且十步相移算法比八步相移算法具有更高的相位提取精度;为了提高测量精度,要求相移误差优于2%;探测器位数大于10位;光栅周期误差小于1%;光源空间相干性低于0.1。通过采用不同的相移算法、剪切率和光源空间相干性的三组对比实验,对理论分析的正确性进行了验证。 展开更多
关键词 测量 干涉测量 Ronchi相移剪切干涉仪 波像差检测 相位提取误差 光刻投影物镜
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高分辨SAR运动误差分析
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作者 周玉刚 闵锐 《电子信息对抗技术》 2010年第6期17-21,共5页
分析了高分辨合成孔径雷达(SAR)成像中存在的运动误差,并从理论上分析了位置误差和角度误差对脉冲压缩的影响,理论分析表明运动误差对方位向相位造成的影响是主要的。在位置误差分析的基础上讨论了近似运动补偿产生的残余相位误差。然... 分析了高分辨合成孔径雷达(SAR)成像中存在的运动误差,并从理论上分析了位置误差和角度误差对脉冲压缩的影响,理论分析表明运动误差对方位向相位造成的影响是主要的。在位置误差分析的基础上讨论了近似运动补偿产生的残余相位误差。然后在理论分析的基础上,对近似补偿产生的残余误差进行了仿真,验证了运动补偿的难点在于如何提高运动参数的精度以补偿方位向的相位误差。 展开更多
关键词 合成孔径雷达 误差分析 相位误差提取 运动补偿
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