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零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制 被引量:8
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作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 鲁森 朱煜 杨开明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1213-1221,共9页
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理... 利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。 展开更多
关键词 全息曝光 移频式干涉图形相位锁定系统 系统辨识 高阶线性拟合 微振动 PID控制
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全球GNSS测站坐标周年非线性变化相位规律分析 被引量:1
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作者 田亮 孙付平 牛冬梅 《大地测量与地球动力学》 CSCD 北大核心 2016年第2期154-157,共4页
将全球IGS测站按照5°×5°范围进行格网化,从中均匀选取257个测站。对这些测站实测坐标序列进行非线性变化周期分析发现,周年频谱是绝大部分IGS站共有的非线性运动规律。通过对周年频谱进行相位拟合建模发现,南北半球绝大... 将全球IGS测站按照5°×5°范围进行格网化,从中均匀选取257个测站。对这些测站实测坐标序列进行非线性变化周期分析发现,周年频谱是绝大部分IGS站共有的非线性运动规律。通过对周年频谱进行相位拟合建模发现,南北半球绝大部分测站存在约180°的相位系统差。 展开更多
关键词 非线性变化 周年频谱 相位系统差 运动机制
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