期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制
被引量:
8
1
作者
王磊杰
张鸣
+2 位作者
鲁森
朱煜
杨开明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期1213-1221,共9页
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理...
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。
展开更多
关键词
全息曝光
零
差
移频式干涉图形
相位
锁定
系统
系统
辨识
高阶线性拟合
微振动
PID控制
下载PDF
职称材料
全球GNSS测站坐标周年非线性变化相位规律分析
被引量:
1
2
作者
田亮
孙付平
牛冬梅
《大地测量与地球动力学》
CSCD
北大核心
2016年第2期154-157,共4页
将全球IGS测站按照5°×5°范围进行格网化,从中均匀选取257个测站。对这些测站实测坐标序列进行非线性变化周期分析发现,周年频谱是绝大部分IGS站共有的非线性运动规律。通过对周年频谱进行相位拟合建模发现,南北半球绝大...
将全球IGS测站按照5°×5°范围进行格网化,从中均匀选取257个测站。对这些测站实测坐标序列进行非线性变化周期分析发现,周年频谱是绝大部分IGS站共有的非线性运动规律。通过对周年频谱进行相位拟合建模发现,南北半球绝大部分测站存在约180°的相位系统差。
展开更多
关键词
非线性变化
周年频谱
相位系统差
运动机制
下载PDF
职称材料
题名
零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制
被引量:
8
1
作者
王磊杰
张鸣
鲁森
朱煜
杨开明
机构
清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期1213-1221,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51677104)
中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885)
文摘
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。
关键词
全息曝光
零
差
移频式干涉图形
相位
锁定
系统
系统
辨识
高阶线性拟合
微振动
PID控制
Keywords
holographic exposure
homodyne frequency-shifting interference pattern phase lockingsystem
system identification
high order linear fitting
micro-vibration
PID control
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
O438.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
全球GNSS测站坐标周年非线性变化相位规律分析
被引量:
1
2
作者
田亮
孙付平
牛冬梅
机构
西安测绘总站
信息工程大学导航与空天目标工程学院
第一测绘导航基地
出处
《大地测量与地球动力学》
CSCD
北大核心
2016年第2期154-157,共4页
基金
国家自然科学基金(41074011
41374027)
+1 种基金
国家863计划(2013AA122501)
地理信息工程国家重点实验室开放研究基金(SKLGIE2015-M-1-2)~~
文摘
将全球IGS测站按照5°×5°范围进行格网化,从中均匀选取257个测站。对这些测站实测坐标序列进行非线性变化周期分析发现,周年频谱是绝大部分IGS站共有的非线性运动规律。通过对周年频谱进行相位拟合建模发现,南北半球绝大部分测站存在约180°的相位系统差。
关键词
非线性变化
周年频谱
相位系统差
运动机制
Keywords
non-linear motion
annual rule
phase systemic error
cause of motion
分类号
P228 [天文地球—大地测量学与测量工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制
王磊杰
张鸣
鲁森
朱煜
杨开明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
8
下载PDF
职称材料
2
全球GNSS测站坐标周年非线性变化相位规律分析
田亮
孙付平
牛冬梅
《大地测量与地球动力学》
CSCD
北大核心
2016
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部