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相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究
被引量:
12
1
作者
黄平
雒建斌
+1 位作者
邹茜
温诗铸
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第1期32-34,共3页
本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能,提高了测量膜厚的分辨率。最后给出的实验结果表明利用该原理测量膜厚是可行的。
关键词
相对光强原理
纳米级润滑膜
膜厚测量
润滑膜
下载PDF
职称材料
纳米级润滑膜厚度测量研究
被引量:
7
2
作者
雒建斌
黄平
温诗铸
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期148-152,共5页
在超精密机械中,摩擦副(特别是点、线接触的摩擦副)常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技术上的困难,这种状态的润滑机理尚未得到充分的认识。本支介绍了根据光干涉法测膜的基本原理提出的相对光强原理,并经特定光路...
在超精密机械中,摩擦副(特别是点、线接触的摩擦副)常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技术上的困难,这种状态的润滑机理尚未得到充分的认识。本支介绍了根据光干涉法测膜的基本原理提出的相对光强原理,并经特定光路设计研制的NGY-2型的纳米级润滑膜厚度测量仪。该测量仪具有膜厚测量分辨率及精度高和抗外界光场变化能力强等优点。
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关键词
厚度测量
纳米级
相对光强原理
润滑膜厚度
薄膜润滑
分辨率
测量仪
光干涉法
基本
原理
测试技术
下载PDF
职称材料
基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法
3
作者
李嘉锐
胡泓
《机械与电子》
2021年第2期59-64,共6页
针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台...
针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台的设计。进行了干涉条纹自动计数算法的研究以及基于单色光干涉的相对光强原理的研究。最后搭建硬件系统和软件系统,对干涉条纹自动计数算法与单色光干涉的膜厚测量方法进行实验验证与分析,实现了光刻胶膜厚的快速精确测量。
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关键词
光刻胶膜厚
薄膜干涉
干涉条纹自动计数算法
单色光干涉
相对光强原理
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职称材料
题名
相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究
被引量:
12
1
作者
黄平
雒建斌
邹茜
温诗铸
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第1期32-34,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目
文摘
本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能,提高了测量膜厚的分辨率。最后给出的实验结果表明利用该原理测量膜厚是可行的。
关键词
相对光强原理
纳米级润滑膜
膜厚测量
润滑膜
Keywords
Relative light intensity principle, Nanometer lubrication film thickness measurement
分类号
TH117.2 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
纳米级润滑膜厚度测量研究
被引量:
7
2
作者
雒建斌
黄平
温诗铸
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期148-152,共5页
文摘
在超精密机械中,摩擦副(特别是点、线接触的摩擦副)常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技术上的困难,这种状态的润滑机理尚未得到充分的认识。本支介绍了根据光干涉法测膜的基本原理提出的相对光强原理,并经特定光路设计研制的NGY-2型的纳米级润滑膜厚度测量仪。该测量仪具有膜厚测量分辨率及精度高和抗外界光场变化能力强等优点。
关键词
厚度测量
纳米级
相对光强原理
润滑膜厚度
薄膜润滑
分辨率
测量仪
光干涉法
基本
原理
测试技术
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法
3
作者
李嘉锐
胡泓
机构
哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院
出处
《机械与电子》
2021年第2期59-64,共6页
文摘
针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台的设计。进行了干涉条纹自动计数算法的研究以及基于单色光干涉的相对光强原理的研究。最后搭建硬件系统和软件系统,对干涉条纹自动计数算法与单色光干涉的膜厚测量方法进行实验验证与分析,实现了光刻胶膜厚的快速精确测量。
关键词
光刻胶膜厚
薄膜干涉
干涉条纹自动计数算法
单色光干涉
相对光强原理
Keywords
photoresist film thickness
thin film interference
automatic interference fringe counting algorithm
monochromatic light interference
relative light intensity principle
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究
黄平
雒建斌
邹茜
温诗铸
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
1995
12
下载PDF
职称材料
2
纳米级润滑膜厚度测量研究
雒建斌
黄平
温诗铸
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
7
下载PDF
职称材料
3
基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法
李嘉锐
胡泓
《机械与电子》
2021
0
下载PDF
职称材料
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