1
|
用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术 |
冯伯儒
张锦
宗德蓉
刘娟
陈宝钦
刘明
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《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
1
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2
|
衰减相移掩模光刻技术研究 |
冯伯儒
张锦
侯德胜
周崇喜
陈芬
|
《光电工程》
CAS
CSCD
|
1999 |
2
|
|
3
|
交替型暗域相移掩模的并行算法 |
闫大顺
周强
蔡懿慈
洪先龙
|
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
|
2007 |
0 |
|
4
|
相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术 |
冯伯儒
张锦
侯德胜
周崇喜
苏平
|
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
15
|
|
5
|
0.35μm相移掩模模拟计算及软件设计 |
周崇喜
冯伯儒
侯德胜
张锦
陈芬
孙方
|
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
|
1999 |
2
|
|
6
|
微光刻相移掩模技术研究 |
冯伯儒
孙国良
沈锋
阙珑
陈宝钦
崔铮
|
《光电工程》
CAS
CSCD
|
1996 |
3
|
|
7
|
制作光纤光栅的相移掩模-双光束干涉曝光方法 |
冯伯儒
张锦
宗德蓉
蒋世磊
|
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
1
|
|
8
|
具有交替型相移掩模技术的CAD系统 |
王迪
刘涛
吴为民
洪先龙
|
《计算机集成制造系统-CIMS》
EI
CSCD
北大核心
|
2003 |
1
|
|
9
|
相移掩模方法及其一维数值模拟 |
周静
龙品
刘大禾
徐大雄
陈宝钦
梁俊厚
|
《高技术通讯》
CAS
CSCD
|
1994 |
1
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10
|
用相移掩模光刻技术制作大相对孔径二元透镜的研究 |
周静
黄婉云
陈宝钦
|
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
|
1995 |
1
|
|
11
|
一种用于暗域交替式相移掩模设计的自适应版图划分方法(英文) |
王迪
吴为民
洪先龙
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
1
|
|
12
|
相移掩模对曝光图形空间像光强分布影响的计算机模拟 |
沈锋
冯伯儒
孙国良
|
《微细加工技术》
|
1995 |
5
|
|
13
|
边缘相移掩模技术 |
陈宝钦
|
《光电工程》
CAS
CSCD
|
1997 |
5
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14
|
先进相移掩模(PSM)工艺技术 |
彭力
陈友篷
尤春
周家万
|
《电子与封装》
|
2010 |
4
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15
|
相移掩模的制作 |
冯伯儒
陈宝钦
|
《微细加工技术》
EI
|
1997 |
2
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|
16
|
一种简单的衰减相移掩模 |
张锦
冯伯儒
侯德胜
周崇喜
姚汉民
郭永康
陈芬
孙方
苏平
|
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
|
2000 |
0 |
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17
|
用光致抗蚀剂膜层制作衰减相移掩模 |
侯德胜
冯伯儒
孙方
张锦
|
《微细加工技术》
|
2001 |
0 |
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18
|
激光光刻与相移掩模 |
路敦武
|
《微细加工技术》
|
1991 |
0 |
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19
|
部分相干因子σ及其在相移掩模(PSM)模拟软件中的应用 |
阙珑
孙国良
冯伯儒
|
《光电工程》
CAS
CSCD
|
1995 |
2
|
|
20
|
用于KrF准分子激光光刻的衰减相移掩模 |
孙方
侯德胜
冯伯儒
张锦
|
《光电工程》
CAS
CSCD
|
2000 |
0 |
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