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中国建设真空互联科研装置
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《机床与液压》 北大核心 2017年第8期197-197,共1页
世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建设了一个全真空的纳米器件研发平台。
关键词 中国 真空互联科研装置 发展现状 试验站
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