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MEMS陀螺仪器件级真空封装技术
被引量:
24
1
作者
施芹
苏岩
+1 位作者
裘安萍
朱欣华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1987-1992,共6页
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品...
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品质因数陀螺仪的空气阻尼。对早期真空封装陀螺仪品质因数的变化曲线进行了分析,得出了腔体内残余气体是品质因数下降的主要原因。采用程序升温脱附质谱分析法(TPD-MS)分析陶瓷管壳和金属盖板的放气特性,并选用了合适的吸气剂。最后,改进了器件级真空封装流程。测试结果表明,采用改进的器件级真空封装的陀螺仪品质因数最高可达162660,约为早期真空封装陀螺仪品质因数的14倍,且在一年内的变化<0.05%。
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关键词
MEMS陀螺仪
真空
封装
真空保持度
吸气剂
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职称材料
题名
MEMS陀螺仪器件级真空封装技术
被引量:
24
1
作者
施芹
苏岩
裘安萍
朱欣华
机构
南京理工大学MEMS惯性技术研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1987-1992,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.10572039
No.10772086)
+1 种基金
江苏省青蓝工程支持计划项目
南京理工大学科研基金资助项目(No.XKF09004)
文摘
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品质因数陀螺仪的空气阻尼。对早期真空封装陀螺仪品质因数的变化曲线进行了分析,得出了腔体内残余气体是品质因数下降的主要原因。采用程序升温脱附质谱分析法(TPD-MS)分析陶瓷管壳和金属盖板的放气特性,并选用了合适的吸气剂。最后,改进了器件级真空封装流程。测试结果表明,采用改进的器件级真空封装的陀螺仪品质因数最高可达162660,约为早期真空封装陀螺仪品质因数的14倍,且在一年内的变化<0.05%。
关键词
MEMS陀螺仪
真空
封装
真空保持度
吸气剂
Keywords
MEMS gyroscope
vacuum packaging
vacuum maintenance
getter
分类号
TH824.3 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS陀螺仪器件级真空封装技术
施芹
苏岩
裘安萍
朱欣华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
24
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职称材料
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参考文献
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