提拉法单晶炉室与抽真空充气系统

炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据压力的不同对炉室进行了分类。最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理。

HT-7 超导托卡马克真空系统和真空调试实验

本文介绍了ＨＴ－７超导托卡马克装置的真空抽充气系统，质谱分析和真空测量系统。给出ＨＴ－７装置真空调试过程中的真空密封、检漏排漏、漏气率放气率和极限真空及质谱分析和放电清洗的实验结果，对有关问题进行了讨论。

PV-10型真空压电阀门性能测定实验

压电晶体阀是真空充气系统中一种微流量充气阀门。它具有流量小、开启快、可以远程控制等优点,但压电阀门的进气量难以用函数的方式准确描述,而且随着使用时间的增长往往有改变。本文介绍了一种PV 10型阀门的性能测定方法和结果,为HT 7托卡马克聚变装置中性束注入器系统离子源和中性化室充气量确定提供了参考数据。

单晶炉压力自动控制系统的实现

根据硅单晶炉真空系统技术特点,从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善,并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制。结合工业PLC和人机界面进行编程,在实际工业中的应用表明,该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性,拉出高品质单晶。