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真空共蒸发法沉积的ZnTe:Cu薄膜
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作者 张静全 吉世印 +3 位作者 陈世国 郑家贵 蔡伟 冯良桓 《贵州科学》 1999年第3期180-184,共5页
用真空共蒸发法沉积了ZnTe和ZnTe:Cu多晶薄膜,研究了Cu含量对薄膜结构和电学性能的影响.发现刚沉积的ZnTe薄膜和轻掺杂的ZnTe:Cu薄膜的结构均为高度(111)择优取向的立方相.掺杂浓度较高的ZnTe:Cu薄膜除了立方相外,还存在六方相... 用真空共蒸发法沉积了ZnTe和ZnTe:Cu多晶薄膜,研究了Cu含量对薄膜结构和电学性能的影响.发现刚沉积的ZnTe薄膜和轻掺杂的ZnTe:Cu薄膜的结构均为高度(111)择优取向的立方相.掺杂浓度较高的ZnTe:Cu薄膜除了立方相外,还存在六方相.重掺杂薄膜中(111)择优取向消失.在ZnTe:Cu薄膜中观察到反常的暗电导温度关系曲线.薄膜的光学能隙在2.15~2.21eV之间.用结构相变的观点对实验现象作了解释. 展开更多
关键词 真空共蒸发法 太阳能电池 ZnTe:Cu薄膜 暗电导率
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真空共蒸发法制备Cu_xTe薄膜的结构特性分析
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作者 吴晓丽 夏庚培 +6 位作者 郑家贵 李卫 冯良桓 武莉莉 张静全 黎兵 雷智 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期360-364,共5页
用真空共蒸发法制备了CuxTe(1≤x≤2)薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)及原子力显微镜(AFM)等表征手段分析了薄膜的结构特性,研究了热处理对不同Cu/Te配比的样品物相转变的影响。结果发现:刚沉积的薄膜非晶结构占主导地... 用真空共蒸发法制备了CuxTe(1≤x≤2)薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)及原子力显微镜(AFM)等表征手段分析了薄膜的结构特性,研究了热处理对不同Cu/Te配比的样品物相转变的影响。结果发现:刚沉积的薄膜非晶结构占主导地位,只有部分低Cu/Te比的薄膜出现多晶结构;退火后,薄膜发生晶相转变,且随着退火温度的升高,不同配比的样品有着不同程度的物相转变。其中,较低配比(x=11、.44)的样品多晶转变较为明显,结晶度较高,说明较小x值的薄膜晶化温度较低,而高x值的薄膜晶化温度较高。用CuxTe薄膜作为背接触层,获得了效率为12.5%的CdS/CdTe小面积太阳电池。 展开更多
关键词 CuxTe薄膜 真空共蒸发法 退火 结构
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CdS_xTe_(1-x)多晶薄膜的制备与性质研究 被引量:15
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作者 李卫 冯良桓 +7 位作者 武莉莉 蔡亚平 张静全 郑家贵 蔡伟 黎兵 雷智 张冬敏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期1879-1884,共6页
采用真空共蒸发方法制备了CdSxTe1 -x 多晶薄膜 ,并用原子力显微镜、x射线衍射和光学透过率谱等研究了CdSxTe1 -x多晶薄膜的结构和性质 .结果表明 :薄膜均匀、致密、无微孔 ,当x≥ 0 5时为n型半导体 ,x <0 5时为p型半导体 .CdSxTe1... 采用真空共蒸发方法制备了CdSxTe1 -x 多晶薄膜 ,并用原子力显微镜、x射线衍射和光学透过率谱等研究了CdSxTe1 -x多晶薄膜的结构和性质 .结果表明 :薄膜均匀、致密、无微孔 ,当x≥ 0 5时为n型半导体 ,x <0 5时为p型半导体 .CdSxTe1 -x多晶薄膜的光学能隙随x变化 .结合薄膜的晶格常数和光学能隙得到了薄膜发生相变的组分 ,当x<0 2 5时CdSxTe1 -x 多晶薄膜为立方相 ,当x >0 2 5时为六方结构 .退火后结构没有改变 ,能隙减小 .提出了用CdSxTe1 -x多晶薄膜作为缓冲层的新型结构太阳电池 . 展开更多
关键词 真空共蒸发法 多晶薄膜 太阳电池 晶格常数
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