蔽极式电机真空泵在真空压力系统中的应用

在选用单相小功率蔽极式电机真空泵机电产品中 ,由于蔽极式电机起动转矩很小 ,在真空压力系统中是无法带载起动的。根据上述电机的这一特性 ,我们从真空控制回路和电气控制二个技术层面的结合上 ,提出了空载起动后 ,电机达到额定转速时再切换到带载系统的方法。实际应用证明 ,效果良好。

基于PLC的真空压力控制系统设计

介绍了基于PLC的真空压力控制系统的设计过程,包括对系统的设计要求、硬件选型,电气原理图设计、软件和触摸屏设计等,在真空压力控制系统中使用PLC进行自动控制,大大提高了系统的控制精度、可靠性和抗干扰能力,减少了维护工作量。

基于SiC外延生长设备的压力系统设计

为满足SiC外延炉设备运行中各腔室不同压力需求,同时实现工艺压力稳定控制,将SiC外延炉设备压力获得系统划分成工艺压力系统、高真空压力系统、超压防护系统和酸排系统,通过合理计算与选型设计了压力获得系统,并对关键工艺状态进行了试验对比。经过实际工艺验证,目前该压力获得系统已成功应用于SiC外延生长设备,系统功能完备、性能稳定。