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用真空反应溅射CBC靶获得的Ti-Al-B-N涂层 被引量:1
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作者 李良福 《钛工业进展》 CAS 2001年第1期18-20,共3页
关键词 钛合金涂层 真空反应溅射 复合靶 CBC靶
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压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性 被引量:3
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作者 刘洪金 郭帅 +5 位作者 池华敬 焦存柱 周旭 王双 陈革 章其初 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期382-386,共5页
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,... 在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性。同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显。例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小。结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70 nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零。 展开更多
关键词 压电陶瓷阀 真空磁控反应溅射 迟滞特性 温度特性 闭环控制参数
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用真空反应溅射CBC—靶获得的Ti—AI—B—N涂层的成分、组织和性能
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作者 Ш..ДB 李良福 《金属材料研究》 2001年第2期37-40,共4页
关键词 真空反应溅射 自蔓延高温合成 成分 组织 性能 钛合金 硬质薄膜涂层
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