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基于微谐振器的圆片级真空封装真空度测试技术 被引量:1
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作者 胥超 王敏 杨志 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期162-167,共6页
针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率... 针对微电子机械系统(MEMS)圆片级封装腔体体积小、传统的真空封装测试方法适用性差的情况,研制了一种用于表征圆片级真空封装真空度的器件——MEMS微谐振器。利用此谐振器不仅可以表征圆片级真空封装真空度,也可用于圆片级真空封装漏率的测试。采用MEMS体硅工艺和共晶圆片键合技术实现了微谐振器的圆片级真空封装,利用微谐振器阻尼特性建立了谐振器品质因数与真空度的对应关系,通过设计的激励电路实现了微谐振器品质因数的在片测试,对不同键合腔体真空度下封装的MEMS微谐振器进行测试,测试结果显示该微谐振器在高真空度0.1~8 Pa范围内品质因数与真空度有很好的对应关系。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微谐振器 品质因数 真空度 圆片级真空封装
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引射器真空度的设计与研究
2
作者 卢延峰 《轻金属》 2024年第7期32-34,共3页
为满足大型电解槽精准出铝、减少电解槽散热要求,需要提高引射器的真空度。本文参考了目前理论研究的最新结果并结合经验数据,设计出引射器的内部结构。根据减少动能损失而提高真空度的原理提出了调整压缩空气压力、喷嘴至收缩段的距离... 为满足大型电解槽精准出铝、减少电解槽散热要求,需要提高引射器的真空度。本文参考了目前理论研究的最新结果并结合经验数据,设计出引射器的内部结构。根据减少动能损失而提高真空度的原理提出了调整压缩空气压力、喷嘴至收缩段的距离和喷嘴直径这三个主要参数值的方法,按此最佳参数值设计出的引射器经试验测试当进口压缩空气压力为0.65 MPa时,真空度最大达到-0.068 MPa。 展开更多
关键词 引射器 真空度 动能损失:喷嘴 混合段
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浸渗处理及真空度对喷射粘结成形氧化钙基陶瓷型芯性能影响 被引量:1
3
作者 牛言清 蒋文明 +8 位作者 杨力 杨致远 李庆晴 徐远财 魏青松 南海 洪润洲 郄喜望 樊自田 《铸造》 CAS 2024年第1期32-37,共6页
采用喷射粘结成形技术,以重质碳酸钙作为原料,浸渗纳米ZrO2分散液后烧结得到了氧化钙基陶瓷型芯,研究了浸渗处理以及浸渗真空度对陶瓷型芯性能的影响。研究发现,浸渗处理后的陶瓷型芯内部生成了大量CaZrO3,使内部孔隙减少,微观组织更加... 采用喷射粘结成形技术,以重质碳酸钙作为原料,浸渗纳米ZrO2分散液后烧结得到了氧化钙基陶瓷型芯,研究了浸渗处理以及浸渗真空度对陶瓷型芯性能的影响。研究发现,浸渗处理后的陶瓷型芯内部生成了大量CaZrO3,使内部孔隙减少,微观组织更加致密,弯曲强度最大增加幅度为277.87%。浸渗处理时增大真空度可以进一步改善陶瓷型芯的性能,当真空度从0增加至0.05 MPa时,弯曲强度由7.15 MPa提升到8.88 MPa,但当真空度进一步增加至0.08 MPa时,弯曲强度却降至6.85 MPa,陶瓷型芯性能降低。不同处理工艺烧结后得到的陶瓷型芯浸泡在热水中5 min后即开始溃散,表现出良好的可溶性。 展开更多
关键词 喷射粘结成形 浸渗处理 真空度 重质碳酸钙 可溶性陶瓷型芯
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基于激光诱导等离子体的真空开关真空度检测稳定性研究
4
作者 柯伟 袁欢 +3 位作者 刘佳琪 王小华 杨爱军 荣命哲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期561-569,共9页
基于激光诱导等离子体成像的真空开关真空度检测方法是一种非接触式真空度检测方法,有望实现安全可靠的真空开关真空度带电检测。但是,激光诱导等离子体的演化是一个十分复杂的物理过程,激光能量、等离子体测量延迟时间等因素直接影响... 基于激光诱导等离子体成像的真空开关真空度检测方法是一种非接触式真空度检测方法,有望实现安全可靠的真空开关真空度带电检测。但是,激光诱导等离子体的演化是一个十分复杂的物理过程,激光能量、等离子体测量延迟时间等因素直接影响了等离子体成像,对等离子体成像稳定性的影响需要进行更加深入的研究。为此采用相对标准偏差研究了等离子体成像平均次数、激光能量和等离子体测量延迟时间等对等离子体图像和等离子体辐射强度积分稳定性的影响。结果显示,多次成像平均得到的等离子体图像和辐射强度积分不随平均次数发生明显变化,可用于表征真空度。更重要的是,等离子体辐射强度积分的相对标准偏差随平均次数和激光能量的增加而单调下降,随延迟时间的增加而增大,这意味着对等离子体进行多次成像平均,增加激光能量,减小等离子体成像的延迟时间可以提高等离子体辐射强度积分的稳定性,有利于提高真空度检测精度。该研究为基于激光诱导等离子体成像的真空开关真空度检测方法的参数优化提供了指导,为该方法的实际工程应用奠定了实验基础。 展开更多
关键词 真空开关 真空度检测 激光诱导等离子体 等离子体辐射强度积分 等离子体稳定性
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卫星内部真空度预判模拟仿真研究
5
作者 崔寓淏 孙立臣 +2 位作者 杜春林 窦仁超 郭崇武 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期559-563,共5页
真空度对卫星高功率产品的安全、在轨寿命至关重要。卫星入轨后空间环境温度变化剧烈,用等温释气公式推导卫星内部真空度误差较大。文章基于材料脱附吸附随温度变化特征,解算卫星材料变温工况下放气量,提出一种卫星内部真空度仿真计算... 真空度对卫星高功率产品的安全、在轨寿命至关重要。卫星入轨后空间环境温度变化剧烈,用等温释气公式推导卫星内部真空度误差较大。文章基于材料脱附吸附随温度变化特征,解算卫星材料变温工况下放气量,提出一种卫星内部真空度仿真计算方法。对温度波动条件下星内材料释气进行仿真分析,得到了卫星通信舱在温度变化状态下内部真空度随时间变化情况仿真结果。模拟结果与实际测量结果进行对比,两者差异小于34%。文章为卫星在轨及地面真空试验期间其内部压力值的预估提供理论依据。 展开更多
关键词 真空度 航天器 真空放电
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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
6
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
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不同真空度条件下爆炸焊接引起的振动特性
7
作者 代弦德 张曹林 +3 位作者 丁猛 董雷 李雪交 汪泉 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期76-80,共5页
为探究不同真空度条件下爆炸焊接引起的振动特性,在5kg TNT当量球形真空爆炸容器中开展铝钢爆炸焊接实验,使用Nubox-8016振动测试仪测试了0,-30,-60,-90 k Pa 4组真空度条件下爆炸焊接过程产生的振动信号,并对容器顶部和距容器中心3m地... 为探究不同真空度条件下爆炸焊接引起的振动特性,在5kg TNT当量球形真空爆炸容器中开展铝钢爆炸焊接实验,使用Nubox-8016振动测试仪测试了0,-30,-60,-90 k Pa 4组真空度条件下爆炸焊接过程产生的振动信号,并对容器顶部和距容器中心3m地面处的振动信号进行了时域和频域的分析。结果表明:容器顶部和地面测点的振动速度峰值均随容器内真空压力的升高而逐渐降低,容器结构的频率分布特征与爆炸载荷的大小没有明显关系,由爆炸容器内外气压差产生的预应力对容器结构的影响可以忽略不计。 展开更多
关键词 爆炸焊接 振动 真空度 频域分布
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不同真空度下轧制钛钢复合板的界面氧化行为 被引量:1
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作者 蒋健博 厉文墨 +1 位作者 刘芳芳 江坤 《热加工工艺》 北大核心 2024年第13期121-125,共5页
采用真空热轧复合技术制备了TA2/Q345R钛钢复合板,通过扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计、万能拉伸试验机等分析了不同真空度下轧制钛钢复合板的界面组织和力学性能。结果表明:当复合坯真空度为1 Pa时,钛钢复合板钛复层氧化明显,TA2表... 采用真空热轧复合技术制备了TA2/Q345R钛钢复合板,通过扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计、万能拉伸试验机等分析了不同真空度下轧制钛钢复合板的界面组织和力学性能。结果表明:当复合坯真空度为1 Pa时,钛钢复合板钛复层氧化明显,TA2表面分别产生了10μm的富氧层与硬化层,硬化层硬度约为325 HV;当复合坯真空度为0.1 Pa时,TA2表面部分氧化导致钛钢界面产生约40μm厚的间隙,局部位置还产生了冶金结合;当复合坯真空度达到0.01 Pa时,钛钢复合界面平整连续无缺陷,平均剪切强度约179MPa。综上,0.01 Pa是轧制法制备钛钢复合板的合理真空度。 展开更多
关键词 钛钢复合板 真空度 界面组织 剪切强度
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基于锁定放大技术的真空度检测系统
9
作者 谭金博 于占东 《现代电子技术》 北大核心 2024年第20期33-38,共6页
针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理... 针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理。该方法能够提高检测系统的信噪比,使失调电压的测量精度获得提升。电桥的定温控制在XC866单片机中实现,采用继电反馈临界比例度法完成控制参数的自整定。最后,搭建了交流定温锁定放大真空度测试实验平台,并对真空检测的数据进行处理和标定。实验结果表明,交流定温锁定放大真空检测系统在10-1~103Pa范围内,真空度测量误差不超过15%,验证了所设计方案的有效性和可行性。 展开更多
关键词 电阻真空 真空度检测 锁定放大技术 交流定温电桥 XC866单片机 参数自整定
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离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性实验研究
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作者 李贺 祁小峰 +4 位作者 张宏 陈新伟 颜能文 郑茂繁 刘超 《航天器环境工程》 CSCD 2024年第4期445-449,共5页
为探究影响LIPS-200离子推力器地面测试一致性的因素,深入理解离子推力器工作机理,通过实验研究获取了LIPS-200离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性。结果表明:真空度从2×10^(-3)Pa至1×10^(-2)Pa的变化过程中,束电... 为探究影响LIPS-200离子推力器地面测试一致性的因素,深入理解离子推力器工作机理,通过实验研究获取了LIPS-200离子推力器电参数对真空度及工质流率的敏感特性。结果表明:真空度从2×10^(-3)Pa至1×10^(-2)Pa的变化过程中,束电流为额定束电流的1.7%左右,而加速电流升高了3倍;在改变中和器工质流率时,束电流及阳极电压几乎没有变化;而在增大阳极及主阴极工质流率的过程中,阳极电压均减小,束电流随着阳极工质流率的增大而逐渐增大,随着主阴极工质流率的增大而逐渐减小。研究结果对提升离子推力器地面测试一致性及优化工作点设置具有参考价值。 展开更多
关键词 离子推力器 真空度 工质流率 电参数 实验研究
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交流定温电桥正交锁定放大真空度检测系统设计
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作者 陈勇 于占东 谭金博 《电子设计工程》 2024年第17期45-50,56,共7页
针对中低真空环境高精度测量领域,提出了交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案。以电阻式真空规管作为桥臂构成定温电桥,并采用可调幅400 Hz交流信号激励。交流定温电桥的失调电压采用双相正交锁定放大技术进行精确提取。为使交流定... 针对中低真空环境高精度测量领域,提出了交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案。以电阻式真空规管作为桥臂构成定温电桥,并采用可调幅400 Hz交流信号激励。交流定温电桥的失调电压采用双相正交锁定放大技术进行精确提取。为使交流定温电桥保持在动态平衡状态,设计了PI调节器,并通过临界比例度法完成了校正环节的参数整定。仿真和实验表明,交流定温电桥正交锁定放大真空度检测方案可以在1×10^(2)~1×10^(5)Pa范围内,将真空度测量误差控制在10%以内,验证了该方案的有效性和可行性。 展开更多
关键词 真空度检测 交流定温电桥 失调电压 锁定放大
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真空度对PBAT聚酯性能的影响
12
作者 徐文佳 宋晓玲 杨晓倩 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期79-82,160,共5页
以己二酸(AA)、对苯二甲酸(PTA)、1,4-丁二醇(BDO)为原料,在自制催化剂的催化作用下,合成聚己二酸对苯二甲酸丁二醇酯(PBAT)。在缩聚阶段,采用真空调节阀调节真空度,实现真空度梯度,并通过分析真空度分别为250、150、100、50、25 Pa下,P... 以己二酸(AA)、对苯二甲酸(PTA)、1,4-丁二醇(BDO)为原料,在自制催化剂的催化作用下,合成聚己二酸对苯二甲酸丁二醇酯(PBAT)。在缩聚阶段,采用真空调节阀调节真空度,实现真空度梯度,并通过分析真空度分别为250、150、100、50、25 Pa下,PBAT产品的熔体流动速率、端羧基含量、拉伸性能及相对分子质量等性能的差异发现,当真空度分别为250、150 Pa时,无法生成高分子聚合物;当真空度为100、50、25 Pa时,真空度越高,产品溶体流动速率、端羧基、拉伸性能等综合性能越好。 展开更多
关键词 PBAT 真空度 熔体流动速率 端羧基含量 缩聚
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基于毛毯吸水箱真空度评价毛毯保洁剂使用效果的研究
13
作者 金星明 《中国造纸》 CAS 北大核心 2024年第11期188-191,共4页
首先对纸机当前压榨部毛毯清洗保洁技术及评价方法进行了介绍;然后通过实例探讨基于纸机DCS系统显示的压榨部毛毯吸水箱真空度曲线来评价毛毯保洁剂使用效果的可行性,进而对毛毯保洁剂使用成本及经济效益进行了分析;最后总结了毛毯保洁... 首先对纸机当前压榨部毛毯清洗保洁技术及评价方法进行了介绍;然后通过实例探讨基于纸机DCS系统显示的压榨部毛毯吸水箱真空度曲线来评价毛毯保洁剂使用效果的可行性,进而对毛毯保洁剂使用成本及经济效益进行了分析;最后总结了毛毯保洁剂使用的必要性和强化压榨部毛毯的监测和检测手段的重要性。 展开更多
关键词 纸机DCS系统 吸水真空 真空度 毛毯保洁剂 使用效果
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膜式烧碱蒸发工艺中Ⅰ效真空度低的原因及处理
14
作者 张志江 曹潭洲 甘新瑞 《氯碱工业》 CAS 2024年第1期24-24,25,26,共3页
分析了粒(片)碱生产中Ⅰ效蒸发器真空度低的原因,并提出处理方法。
关键词 烧碱 蒸发工艺 蒸发器 真空度 表面冷凝器 真空
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浅谈影响汽轮机真空度的原因及解决措施
15
作者 黄瑞 《化学工程与技术》 2024年第5期395-402,共8页
目前国内乙烯装置压缩机大部分采用抽汽凝液式透平作为驱动设备,其中复水器冷凝系统的真空度高低对汽轮机做功效率有着重要意义。本研究旨在解决国内乙烯装置中抽汽凝液式透平驱动设备在复水器冷凝系统真空度下降的问题。鉴于真空度对... 目前国内乙烯装置压缩机大部分采用抽汽凝液式透平作为驱动设备,其中复水器冷凝系统的真空度高低对汽轮机做功效率有着重要意义。本研究旨在解决国内乙烯装置中抽汽凝液式透平驱动设备在复水器冷凝系统真空度下降的问题。鉴于真空度对汽轮机做功效率的重要性,本文分析了影响复水器真空度的多种因素,包括系统密封情况、冷却水温度和用量、蒸汽品质、机组工况以及抽气系统的运行情况。研究采用系统分析法和实验验证方法,以国内某乙烯装置为研究对象,通过数据收集和分析,确定了各因素对真空度的影响程度。研究结果表明,除了已知的系统密封和冷却水因素外,蒸汽品质和抽气系统运行情况也对真空度有显著影响。基于这些发现,本文提出了更换密封垫圈、采用混合型冷凝器换热以及适当加大喷淋量的改进方案。这些措施的实施有望提高复水器冷凝系统的真空度,从而提升汽轮机的做功效率,对乙烯装置的节能降耗和运行稳定性具有重要意义。At present, most of the domestic ethylene compressors use the extraction condensate turbine as the driving equipment, and the vacuum degree of the condensation system of the rehydration has an important meaning for the work efficiency of the steam turbine. This study aims to solve the problem that vacuum of the turbine driving equipment decreases in the condensation system of the domestic ethylene device. In view of the importance of vacuum on the work efficiency of the turbine, this paper analyzes many factors affecting the vacuum of the rehydration, including system sealing, cooling water temperature and dosage, steam quality, unit condition and operation of the extraction system. Taking a domestic ethylene device as example, the systematic analysis method and experimental verification method were used to determine the influence degree of each factor on the vacuum degree through data collection and analysis. The results show that, in addition to the known system sealing and cooling water factors, the steam quality and the operation of the pumping system also have a significant influence on the vacuum degree. Based on these findings, this paper proposes the improvement scheme of replacing the sealing washer, using the heat exchange with mixed condenser and appropriately increasing the spray amount. The implementation of these measures is expected to improve the vacuum of the condensation system of the rehydration, so as to improve the work efficiency of the turbine, which is of great significance to the energy saving and operation stability of the ethylene device. 展开更多
关键词 抽汽凝液式透平 真空度 乙烯装置 压缩机
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汽轮机典型事故及真空度低的解决措施
16
作者 胡泊 《设备管理与维修》 2024年第18期86-89,共4页
结合一起汽轮机开机时发生的轴向窜动大造成机组停机(且类似事故发生不止一次)事件,深入查找汽轮机各项运行参数历史记录。最终根据机组各时间点轴位移、推力瓦温及各点蒸汽压力变化情况,判断该起事故是由水冲击造成的,问题根源是抽汽... 结合一起汽轮机开机时发生的轴向窜动大造成机组停机(且类似事故发生不止一次)事件,深入查找汽轮机各项运行参数历史记录。最终根据机组各时间点轴位移、推力瓦温及各点蒸汽压力变化情况,判断该起事故是由水冲击造成的,问题根源是抽汽逆止阀疏水阀堵塞。停机后检查得到确认,进而彻底解决该问题。运行过程中汽轮机真空度降低会影响机组运行效率,总结真空度降低的各种原因并给出相应的解决措施。 展开更多
关键词 汽轮机 水冲击 真空度降低 逆止阀
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VIM真空感应炉真空度修复分析
17
作者 张龙 《山西冶金》 CAS 2024年第5期218-220,共3页
以太钢技术中心基础研究所的德国ALD真空感应炉作为研究对象,其连续服役十余年,大量的冶炼试验对真空炉的抽真空系统造成了严重的影响,工作真空度不断降低,导致钢锭质量下降。通过分析真空炉抽真空泵级系统原理,提出将真空泵级系统进行... 以太钢技术中心基础研究所的德国ALD真空感应炉作为研究对象,其连续服役十余年,大量的冶炼试验对真空炉的抽真空系统造成了严重的影响,工作真空度不断降低,导致钢锭质量下降。通过分析真空炉抽真空泵级系统原理,提出将真空泵级系统进行拆解维护修复方案。经过实践证明,该修复方案切实可行,能够大幅度提高真空感应炉的工作真空度。 展开更多
关键词 真空感应炉(VIM炉) 真空度 增压泵 真空
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钨冶炼蒸发结晶的真空度控制与检测技术研究
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作者 李孝艳 廖雯婧 +1 位作者 任筠 谢健明 《中文科技期刊数据库(全文版)自然科学》 2024年第7期0046-0049,共4页
钨(W)是具有高硬度和稳定化学性质的稀有金属,应用广泛。本文主要探讨了钨冶炼过程中,蒸发结晶阶段真空(负压)度的控制与检测技术。概述了钨冶炼的基本技术、蒸发结晶的原理、重要性及其影响因素,对钨酸铵(APT)在不同条件下的溶解度特... 钨(W)是具有高硬度和稳定化学性质的稀有金属,应用广泛。本文主要探讨了钨冶炼过程中,蒸发结晶阶段真空(负压)度的控制与检测技术。概述了钨冶炼的基本技术、蒸发结晶的原理、重要性及其影响因素,对钨酸铵(APT)在不同条件下的溶解度特性进行了分析,并讨论了其对蒸发结晶过程的影响;详细阐述了真空度控制在蒸发结晶过程中的关键作用,介绍了现代真空度检测技术的分类、原理及特点。最后,根据当前企业的检测现状提出了改进真空度控制和检测系统的策略,并对未来的研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 钨冶炼 蒸发结晶 真空度控制 真空度检测 仲钨酸铵
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减压塔真空度下降的原因分析及处置研究
19
作者 王野 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第9期0054-0057,共4页
在石油化工生产过程中,减压塔起着关键作用,其操作状况直接关系到炼油效率和产品质量,然而,实际生产中常会遇到减压塔真空度下降的问题,这不但影响正常生产,还可能引发安全风险。本文首先分析了减压塔真空度下降的原因,包括蒸汽压力不... 在石油化工生产过程中,减压塔起着关键作用,其操作状况直接关系到炼油效率和产品质量,然而,实际生产中常会遇到减压塔真空度下降的问题,这不但影响正常生产,还可能引发安全风险。本文首先分析了减压塔真空度下降的原因,包括蒸汽压力不足、冷却水系统问题、塔顶温度控制不当、减压系统操作条件与进料组成不适等关键因素。在此基础上,文章深入探讨了各影响因素的作用机制及其相互关系,并结合具体案例和文献资料,提出了相应的处置策略和技术解决方案,通过对这些措施的阐述与论证,旨在为石油炼制企业提供指导性的建议,帮助其优化减压塔的运行管理,确保生产系统的稳定与安全。 展开更多
关键词 减压塔 真空度下降 原因分析 处置研究 系统优化
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真空发生器拉瓦尔管结构参数对真空度的影响研究
20
作者 吕回 王晖 +4 位作者 陈瑜帆 孙闻怿 马慧颖 李世康 刘海军 《现代制造技术与装备》 2024年第10期7-9,共3页
真空发生器是以真空压强为动力源的重要元器件,应用广泛。真空度是衡量真空发生器工作性能的重要指标。拉瓦尔管的结构参数会影响真空发生器的真空度。为了探明拉瓦尔管结构参数对真空发生器真空度的影响,采用索科洛夫理论方法计算喉管... 真空发生器是以真空压强为动力源的重要元器件,应用广泛。真空度是衡量真空发生器工作性能的重要指标。拉瓦尔管的结构参数会影响真空发生器的真空度。为了探明拉瓦尔管结构参数对真空发生器真空度的影响,采用索科洛夫理论方法计算喉管直径、出口直径和喉嘴距3个结构参数,分析它们对真空发生器真空度的影响规律,并确定最佳结构参数。经过分析,喉管直径和出口直径对真空度的影响显著,喉嘴距对真空度的影响不显著;喉管直径为8.0mm、出口直径为17.0mm、喉嘴距为10.0mm是最佳结构参数。 展开更多
关键词 真空发生器 拉瓦尔管 结构参数 真空度
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