真空开关管真空度测量仪标定校准研究

本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果,重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理,系统组成和机构,标定校准的工艺过程,并对校准带来的误差和干扰因素进行了汇总分析,通过分析,为进一步提高校准的精度提供了改进思路。