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容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
1
作者
唐景远
王金锁
等
《四川真空》
2001年第1期49-52,共4页
本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。
关键词
真空
测量
薄膜
真空
计
压缩式
真空
计
容积式
真空
泵
真空度测试装置
下载PDF
职称材料
题名
容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
1
作者
唐景远
王金锁
等
机构
上海市计量测试技术研究院
上海真空泵厂
出处
《四川真空》
2001年第1期49-52,共4页
文摘
本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。
关键词
真空
测量
薄膜
真空
计
压缩式
真空
计
容积式
真空
泵
真空度测试装置
分类号
TB752 [一般工业技术—真空技术]
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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作者
出处
发文年
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1
容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
唐景远
王金锁
等
《四川真空》
2001
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