低粒子高真空插板阀的检测方法研究

低粒子高真空插板阀因选用材料的特殊性和密封技术的先进性,在运行过程中产生的机械冲击力就会较小,从而大大地减少了颗粒污染。它是常用于集成电路的晶圆生产行业的一类真空阀门,而目前国内厂家还无法生产这类阀门,也没有进行相关的设计研发。为此研究了基于光散射法的低粒子高真空插板阀的粒度检测方法及相应的检测指标,搭建了相关的粒度检测平台,并进行了模拟测试。

高真空插板阀工作状态诊断与监测方法研究

高真空插板阀广泛应用于空间环境模拟器真空分系统,如低温泵、分子泵泵口阀,粗抽机组总阀等。这些阀门均属于单点失效或一旦失效对试验系统运行产生较大影响的关键设备。以KM6空间环境模拟器试验系统的单点失效设备粗抽总阀为研究对象,开展工作状态监测方法研究,通过位移传感器、特定条件下阀门的开启与关闭时间、开关到位指示器、声音传感器从多角度对阀门的状态进行监测与判断,能够在其出现故障前,给出相关数据,对其状态进行预示,效果良好。

大口径真空插板阀优化设计

伴随我国航天及国防事业的巨大进步,更多关键和特殊的装备需要在真空环境下生产或试验,大型和特大型地面模拟设备开始研制和投入使用,对关键部件真空插板阀的要求也越来越高。由于真空插板阀的口径不断增大,传统结构的真空插板阀无法满足要求,为此针对大口径真空插板阀在使用过程中发现的问题,对大口径真空插板阀采取了阀体分体结构设计、独立运行轨道设计、自动超压保护装置设置、传动系统增设离合器、密封结构形式改进等优化设计,有效地解决了传统真空插板阀结构、控制等方面存在的弊端。通过优化设计制造的大口径真空插板阀已投入运行,阀门运行稳定可靠。该设计方法可以有效解决未来更大口径真空插板阀的设计难题。

真空连续立式双面镀膜技术

一种真空连续立式双面镀膜技术,生产线由12个真空室直线排列,机械主体采用积木式模块单元化设计,总体呈直线立式排列,基片亦呈立式传送和镀膜,基片始终在一个水平面上传送。在生产双面镀膜玻璃时只需根据工艺要求打开背面的靶,基片按行进方向运载1次就能得到双面镀膜玻璃。采用这种镀膜技术能够增加一半产量、提高产品良品率、减少工艺难度。