动态流导法真空校准装置

动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1～5×10-7Pa,合成标准不确定度为0.69%～1.4%。

超高/极高真空校准研究进展

本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展。介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点。从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10-10Pa^10-8Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确。

毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究

对毫秒量级快速动态真空标准压力建立过程进行分析,获得了经实际气体特性和温度变化修正的动态真空标准压力理论模型,分析表明:上游室压力呈指数规律衰减,快速开合超高真空插板阀打开时间和限流小孔流导值是决定标准压力建立时间的关键因素。此外,在阻塞流态下,对气体膨胀过程进行数值模拟,并做了实验验证。结果表明:上游室压力均匀变化,意味着被校真空计安装位置不会影响校准结果;上游室温度下降呈现出较大梯度,实验测量时应将热电偶尽量布置在上游室中心位置;理论和模拟压力与实测压力最大不确定度分别为10%和4.65%,表明该校准系统能够在毫秒量级的时间内产生可以预测的压力变化;实际气体特性修正因子值为1,可忽略其对标准压力建立的影响;限流小孔流导最大和最小值相差0.8,证明了推导标准压力模型时假设小孔流导为定值的合理性。

动态流导法真空校准装置的性能测试

介绍了动态流导法真空校准装置的校准原理、校准方法,测试了性能指标,校准了分离规和磁悬浮转子规。实验结果表明,校准范围为(2 6×10-7～2 4×10-1)Pa,不确定度小于1 4%,磁悬浮转子规的校准结果与德国PTB的校准结果的一致性好于1 6%。

真空校准系统及真空计的校准

综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求。并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项。

膨胀法真空校准装置微机控制与检测方法的研究

利用微机对真空校准装置进行控制和检测方法的实验研究 ,实现了在保留原装置功能的基础上增加检定和打印功能 ,从理论和实践上论证了扩展膨胀法校准上限的可能性 。

如何安全操作真空校准系统

本文结合作者长期的工作实践经验,详细分析了在安全操作真空校准系统过程中的一些体会。

基于LabVIEW的定向流真空校准虚拟仪器开发

运用LabVIEW 7.1开发了用于定向分子流真空校准的虚拟仪器,阐明了由磁悬浮转子规、电容薄膜规、冷阴极电离规、方向规以及伺服电机等组成的虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想及具体实现。该测控系统具有界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。

真空校准系统测量过程统计控制的设计与实施

为确定真空校准系统测量过程是否稳定受控,文章对其设计并实施了统计控制,这也是我院首次将统计控制方法应用在测量过程的控制。在采集测量控制数据基础上,建立了控制模型,应用t检验和F检验两种统计检验法,计算得到统计量,对测量过程是否受控进行判定。实施结果表明,真空校准系统测量过程处于稳定受控状态,测量结果真实可靠。

高真空校准系统测量标准不确定度的评定

本文叙述了高真空校准系统测量不确定度的测量方法及相对标准不确定度分量的分析。

真空计校准的数值处理及误差分析

文章介绍在真空校准系统上开展的副标准真空规与工作真空规的比对校准实验,用最小二乘法对实验数据进行分段拟合,得到了理想的拟合直线及其校准系数,精度估计表明这种处理是有效的,其结果具有较高的可信度,能够满足HT-7装置运行时真空测量的精度要求。

电容薄膜真空计校准装置的研制

介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10^(-1)~1×10~4)Pa,相对扩展不确定度为(0.22%~0.06%)(k=2)。装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02%。

固定流导法校准真空漏孔方法研究

固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近,从而避免了四极质谱计的非线性影响。稳压室中的气体压力比较大,所以稳压室不需要特别严格的材料处理工艺,具体校准过程中也不需要彻底的烘烤出气就能得到纯净的单一气体。固定流导法校准真空漏孔的不确定度的评定值为2.6%,可以通过精确校准电容薄膜规和控制温度来进一步降低漏孔校准的不确定度。

复合式真空标准校准真空计的方法

复合式真空标准校准真空计的方法李正海（兰州物理研究所）复合式真空标准装置采用了动态与静态相结合的方法，把动态比对、静态比对、静态膨胀三种校准真空计的方法复合成一台真空标准。该装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、校准范围为１０５～１０－４Ｐａ，总...

Pirani真空变送器的校准

通过对Pirani真空变送器的测量和校准,分析Pirani真空变送器输出信号和真空度之间的函数关系。由输出信号示值误差与真空度示值相对误差之间的关系,建立Pirani真空变送器的校准装置,并对某类型的Pirani真空变送器进行了测量,测量结果扩展不确定度U=0.046V(k=2),对应于真空度示值相对误差δ不大于±10%。

真空开关管真空度测量仪标定校准研究

本文介绍了真空开关管真空度测量仪标定校准的研究成果,重点介绍了真空度测试仪动态对比法标定校准的原理,系统组成和机构,标定校准的工艺过程,并对校准带来的误差和干扰因素进行了汇总分析,通过分析,为进一步提高校准的精度提供了改进思路。

固定流导法真空漏孔校准装置性能研究

固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定。

静态膨胀法真空标准的发展概况

本文介绍了德国PTB、英国NPL、墨西哥CENAM、韩国KRISS、意大利CENAM、日本NMIJ、中国计量科学研究院和国防科技工业真空一级计量站的静态膨胀法真空标准的发展概况,对其前级标准,结构特点和性能指标进行了评述。