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真空气相沉积法制备LiFePO_4薄膜的研究进展 被引量:9
1
作者 赵灵智 胡社军 +1 位作者 李伟善 李黎明 《广东化工》 CAS 2007年第10期56-58,63,共4页
橄榄石型LiFePO4具有170 mAh/g的理论比容量和约3.5 V的电压、较好的常温和高温稳定性、低廉的价格和优良的环保性能,有望作为大型移动式锂离子电池的正极材料。本文阐述了锂离子正极材料LiFePO4的特性和优势,介绍了其作为正极材料的电... 橄榄石型LiFePO4具有170 mAh/g的理论比容量和约3.5 V的电压、较好的常温和高温稳定性、低廉的价格和优良的环保性能,有望作为大型移动式锂离子电池的正极材料。本文阐述了锂离子正极材料LiFePO4的特性和优势,介绍了其作为正极材料的电池原理及电化学性能,综述了近年来国内外利用真空气相沉积法制备LiFePO4薄膜正极材料的研究进展,并对开发高性能LiFePO4薄膜正极材料提出了研发思路。 展开更多
关键词 锂离子电池 正极材料 磷酸亚铁锂 真空气相沉积 综述
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真空气相沉积碲化镉薄膜特性研究 被引量:1
2
作者 季秉厚 孟凡英 +1 位作者 李健 其其格 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-44,共4页
用一种简便的制备CdTe薄膜的方法———真空气相沉积法 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中 ,同时蒸发Cd +Te材料 ,形成CdTe薄膜。为改善其性能 ,采用改变Cd∶Te的原子配比和在Cd +Te材料中掺杂In ,用N2 作保护气体 ... 用一种简便的制备CdTe薄膜的方法———真空气相沉积法 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中 ,同时蒸发Cd +Te材料 ,形成CdTe薄膜。为改善其性能 ,采用改变Cd∶Te的原子配比和在Cd +Te材料中掺杂In ,用N2 作保护气体 ,要不同温度下对薄膜进行热处理。通过SEM ,XRD ,SAM和AES等测试分析 ,分别研究了热处理前后CdTe薄膜的结构。 展开更多
关键词 CDTE薄膜 真空气相沉积 掺杂 in 热处理 测试 碲化镉薄膜 太阳能电池
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真空气相沉积制备碲化镉薄膜的电学和光学特性
3
作者 季秉厚 孟凡英 +1 位作者 李健 其其格 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期134-137,共4页
用真空气相沉积法 ,同时蒸发Cd和Te材料 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。对CdTe薄膜掺杂In ,并用氮气作保护气体 ,在不同温度和时间下对薄膜进行热处理 ,研究薄膜的电学特性和光学特性。结果表明 ,用真空气相沉积法制备的CdTe薄膜的电学。
关键词 CDTE薄膜 真空气相沉积 掺杂 热处理 碲化薄膜 电学特性 光学特性 半导体
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HMX颗粒的气相沉积包覆研究 被引量:3
4
作者 李茂果 杜自卫 廖宏 《真空》 CAS 2013年第6期23-26,共4页
本文通过真空气相沉积技术,在HMX炸药颗粒表面成功包覆了石蜡和paralene膜,并且在膜较薄情况下实现了包覆度100%。测试了HMX气相包覆颗粒的机械感度和静电火花感度。结果表明,paralene膜由于模量很高,不能降低HMX的机械感度,但石蜡包覆... 本文通过真空气相沉积技术,在HMX炸药颗粒表面成功包覆了石蜡和paralene膜,并且在膜较薄情况下实现了包覆度100%。测试了HMX气相包覆颗粒的机械感度和静电火花感度。结果表明,paralene膜由于模量很高,不能降低HMX的机械感度,但石蜡包覆HMX后,对HMX颗粒的机械感度和静电感度的降感效果优于同等石蜡含量的水悬浮法造型粉。同时,DSC实验表明,PC、石蜡对HMX的热分解影响很小,是与HMX良好相容的材料。 展开更多
关键词 有机化学 HMX 真空气相沉积 感度
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美国开发出新型真空涂装设备与技术
5
作者 建信 《建井技术》 北大核心 2003年第2期6-6,共1页
美国Parylene公司最近开发出新型涂装设备与技术,以独特的真空气相沉积制程使室温中的活性小分子在被涂装物体表面生成完全覆盖的聚合物薄膜,可涂装到任何形状的表面,且不会产生死角。
关键词 Parylene公司 空涂装设备 真空气相沉积 聚合物薄膜
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美国开发出新型真空涂装设计
6
《防腐蚀》 2003年第9期47-47,共1页
关键词 美国 开发 空涂装 设计 真空气相沉积 防潮功能 防霉功能 防腐蚀功能
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新型真空涂装设备
7
《化工文摘》 2003年第8期44-44,共1页
关键词 空涂装设备 美国Parylone公司 真空气相沉积 防潮 防霉 防腐蚀 功能
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美国开发出新型真空涂装设备
8
《新材料产业》 2003年第6期57-57,共1页
关键词 空涂装设备 美国Parylene公司 聚合物薄膜 真空气相沉积 表面工程
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高速玻璃镀膜技术──真空磁控阴极溅射方法
9
作者 关紫星 田申 《吉林建材》 1996年第2期8-9,共2页
高速玻璃镀膜技术──真空磁控阴极溅射方法关紫星,田申黑龙江省建材局黑龙江省建材科研所1概述镀膜玻璃在经济发达国家已普遍用作玻璃幕墙,国内的北京长城饭店、上海联谊大厦、上海瑞金宾馆和上海国际贸易中心也已采用镀膜玻璃作幕... 高速玻璃镀膜技术──真空磁控阴极溅射方法关紫星,田申黑龙江省建材局黑龙江省建材科研所1概述镀膜玻璃在经济发达国家已普遍用作玻璃幕墙,国内的北京长城饭店、上海联谊大厦、上海瑞金宾馆和上海国际贸易中心也已采用镀膜玻璃作幕墙建筑。由于镀膜玻璃具有良好的吸热... 展开更多
关键词 阴极溅射 玻璃镀膜 空镀膜玻璃 真空气相沉积 磁控阴极 空溅射 洗涤干燥机 厚度均匀性 黑龙江省 联邦德国
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聚对二甲苯在电路板上应用的三防技术探讨
10
作者 刘海涛 丁飞 +13 位作者 郑玉侠 史龙 关钰 温荣杰 张志远 李幼晨 陈卫卫 王海涛 于志红 杨志云 赵新宇 徐勇 田亚州 游方园 《电子测试》 2023年第1期75-78,共4页
本文描述了聚对二甲苯真空气相沉积涂覆工艺在电路板组件表面防护膜层的制备过程,涂膜试验数据以及膜层性能。实验证明,聚对二甲苯高分子膜层对电路板组件表面具有优异的物理性能、电器性能和三防性能,是当前高可靠性需求电子产品多重... 本文描述了聚对二甲苯真空气相沉积涂覆工艺在电路板组件表面防护膜层的制备过程,涂膜试验数据以及膜层性能。实验证明,聚对二甲苯高分子膜层对电路板组件表面具有优异的物理性能、电器性能和三防性能,是当前高可靠性需求电子产品多重防护的最佳选择。 展开更多
关键词 聚对二甲苯 真空气相沉积 试验数据 膜层性能
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稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性 被引量:21
11
作者 李健 白素杰 通拉嘎 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第5期9-11,14,共4页
研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性,实验给出,经温度为500℃,时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大,薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经... 研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性,实验给出,经温度为500℃,时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大,薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经掺Nd(质量分数为4.96×10-2)后纳米ZnO薄膜对乙醇气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善。在1.5×10-3体积分数的乙醇气体中最高灵敏度为34,相应的薄膜工作温度为200℃。 展开更多
关键词 真空气相沉积 稀土Nd掺杂 ZNO薄膜 气敏特性 气体传感器
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纳米ZnO薄膜的制备 被引量:2
12
作者 宋淑芳 李健 季秉厚 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期504-507,共4页
采用真空气相沉积法 ,使用两种蒸发源制备纳米 Zn O薄膜 .用 XRD( X射线衍射 )进行测试并进行其结构特性分析 .研究发现 ,蒸发源为分析纯 Zn粉末时 ,蒸发可获得纳米 Zn薄膜 ,薄膜在氧气气氛下同时进行氧化及热处理 .实验发现 ,当温度高... 采用真空气相沉积法 ,使用两种蒸发源制备纳米 Zn O薄膜 .用 XRD( X射线衍射 )进行测试并进行其结构特性分析 .研究发现 ,蒸发源为分析纯 Zn粉末时 ,蒸发可获得纳米 Zn薄膜 ,薄膜在氧气气氛下同时进行氧化及热处理 .实验发现 ,当温度高于 4 0 0℃ ,得到沿 c轴择优取向的纳米 Zn O薄膜 .蒸发源为分析纯 Zn O粉末时 ,采用钼舟加热 ,高温下 Zn O与钼舟发生反应 ,使部分 Zn O还原为 Zn,因此这种方法不适合纳米 Zn 展开更多
关键词 纳米ZNO薄膜 真空气相沉积 制备 纳米技术 氧化锌薄膜 热处理 蒸发源
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3,4,9,10-苝四甲酸二酐纳米材料的制备及其传感行为的研究 被引量:1
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作者 李志英 周晓敏 +1 位作者 霍曼 张海容 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期303-307,共5页
以3,4,9,10-苝四甲酸二酐(PTTC)为原料,采用真空气相沉积-分子自组装法制备了有机纳米材料,通过扫描电镜、透射电镜、红外光谱、荧光光谱和差热分析表征所得产物。用吐温20增溶PTTC纳米材料,发现L-赖氨酸对该分散系的荧光具有较强的增... 以3,4,9,10-苝四甲酸二酐(PTTC)为原料,采用真空气相沉积-分子自组装法制备了有机纳米材料,通过扫描电镜、透射电镜、红外光谱、荧光光谱和差热分析表征所得产物。用吐温20增溶PTTC纳米材料,发现L-赖氨酸对该分散系的荧光具有较强的增敏作用,据此建立了L-赖氨酸的纳米荧光化学传感新方法。体系的荧光变化与赖氨酸浓度呈线性关系,线性范围为7.00×10-4~5.40×10-7mol/L,检出限为8.39×10-8mol/L。进一步研究发现,PTTC纳米结构使赖氨酸的循环伏安图电流差减小,有望据此制作赖氨酸纳米电化学传感器。 展开更多
关键词 3 4 9 10-茈四甲酸二酐 真空气相沉积-分子自组装法 有机纳米材料 L-赖氨酸 化学传感器
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一种以钆配合物作为电子受体的有机光伏器件 被引量:1
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作者 范镝 初蓓 +1 位作者 李文连 洪自若 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期604-607,共4页
A series of organic photovoltaic (PV) cells in which the electron acceptor and donor are gadolinium (dibenzoylmethanato)3(bathophenanthroline) and N,N′-diphenyl-N,N′bis(3-methylphenyl)-1,1′-diphenyl-4,4′-d... A series of organic photovoltaic (PV) cells in which the electron acceptor and donor are gadolinium (dibenzoylmethanato)3(bathophenanthroline) and N,N′-diphenyl-N,N′bis(3-methylphenyl)-1,1′-diphenyl-4,4′-diamine , respectively, were fabricated. Although TPD acts as an active layer in the bilayered cells, insertion of a Gd-complex film between TPD and the alloy cathode is necessary for efficient carrier photogeneration. Open-circuit voltage of 3.2 V is obtained due to efficient exciton dissociation near the interface between (Gd(DBM)3bath) and TPD. By incorporating an ultrathin mixed layer of Gd-complex and TPD, external quantum efficiency is improved significantly.It was found that photovoltaic performance of the devices has a common origin, exciplex formation, which results in broadband emission during both photoluminescent and the electroluminescent processes. 展开更多
关键词 钆配合物 电子受体 有机光伏器件 真空气相沉积 Gd(DBM)3bath 激基复合物 外量子效率
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掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析 被引量:2
15
作者 吉雅图 李健 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期191-194,共4页
采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜。研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响。实验给出 ,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构 ,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小 ,CdS薄膜晶粒... 采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜。研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响。实验给出 ,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构 ,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小 ,CdS薄膜晶粒尺寸随掺杂含量的增加而变大 ,但薄膜的光透射性有所降低。在短波范围内 ,ZnO薄膜的光透率好于CdS薄膜 ;在 5 0 0nm~ 1 0 0 0nm范围内 ,CdS薄膜的光透率好。掺In后ZnO薄膜的光学带宽从 3 2eV减小至 2 85eV ;掺In后CdS薄膜光学带宽从 2 4 2eV减小至 2 35eV。 展开更多
关键词 薄膜太阳电池 真空气相沉积 结构 光学特性 纳米薄膜 ZNO CDS 掺杂
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不同衬底制备稀土Nd^(+3)掺杂SnO_2薄膜的XRD、SEM分析 被引量:1
16
作者 白海平 李健 吉雅图 《真空》 CAS 北大核心 2006年第6期15-18,共4页
采用真空气相沉积法在玻璃和单晶硅衬底[111]上制备纳米SnO2及稀土金属钕掺杂薄膜,并对薄膜进行热处理。对薄膜进行XRD、SEM测试。实验显示,不同衬底制备SnO2薄膜在未掺钕时结构有明显区别,采用同样工艺条件在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜... 采用真空气相沉积法在玻璃和单晶硅衬底[111]上制备纳米SnO2及稀土金属钕掺杂薄膜,并对薄膜进行热处理。对薄膜进行XRD、SEM测试。实验显示,不同衬底制备SnO2薄膜在未掺钕时结构有明显区别,采用同样工艺条件在玻璃衬底上制备的SnO2薄膜没有显示择优生长;在硅衬底上制备未掺钕SnO2薄膜显示出沿[101]晶向择优生长趋势。掺钕(5 at%)玻璃衬底制备的薄膜沿[110]衍射峰较强,但薄膜基本呈现自由生长;掺钕后硅衬底制备的薄膜则强烈沿[110]晶向择优生长,随掺钕含量增加择优生长趋势消失,当掺钕含量为(5 at%)时薄膜呈自由生长结构较完善。SEM给出在玻璃基片生长的薄膜表面形貌呈均匀小颗粒状,平均晶粒尺寸在30 nm左右。硅基片制备的薄膜表面则呈紧密均匀带孔颗粒状;颗粒尺寸约1000 nm与计算值相差较大。两种衬底制备的SnO2薄膜经稀土钕掺杂可抑制晶粒生长。本实验中钕掺杂量为5 at%(热处理T=500℃,t=45 m in)时薄膜结构特性最佳。 展开更多
关键词 真空气相沉积 稀土Nd掺杂 SNO2薄膜 XRD SEM分析
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Parylene涂覆技术在天馈系统防护上的应用 被引量:2
17
作者 敖辽辉 《电讯技术》 北大核心 2012年第6期1035-1037,共3页
针对部分天馈器件结构复杂和腔体尺寸太小无法进行传统镀覆防护的特点,提出了真空气相沉积派拉纶(Parylene)膜层防护处理方法。采用涂覆硅烷偶联剂、优化涂覆工艺过程解决了Parylene涂覆层与基体的结合力、Parylene膜层质量等关键技术... 针对部分天馈器件结构复杂和腔体尺寸太小无法进行传统镀覆防护的特点,提出了真空气相沉积派拉纶(Parylene)膜层防护处理方法。采用涂覆硅烷偶联剂、优化涂覆工艺过程解决了Parylene涂覆层与基体的结合力、Parylene膜层质量等关键技术,通过防护试验和电性能测试验证了防护方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 直升机载雷达 毫米波平板裂缝阵天线 天馈系统 涂覆技术 防护 派拉纶 真空气相沉积
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1,4,5,8-萘四甲酸二酰亚胺纳米荧光探针的制备及应用
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作者 张海容 高登辉 +1 位作者 刘佳 陈金娥 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期523-527,共5页
以1,4,5,8-萘四甲酸二酰亚胺(NTCD)为原料,运用真空气相沉积-分子自组装法制备了NTCD有机纳米材料。通过扫描和透射电镜、荧光光谱、紫外光谱、傅立叶变换红外光谱表征了其结构。通过NTCD独特的荧光特性,建立了测定三聚氰胺荧光的纳米... 以1,4,5,8-萘四甲酸二酰亚胺(NTCD)为原料,运用真空气相沉积-分子自组装法制备了NTCD有机纳米材料。通过扫描和透射电镜、荧光光谱、紫外光谱、傅立叶变换红外光谱表征了其结构。通过NTCD独特的荧光特性,建立了测定三聚氰胺荧光的纳米化学传感器。该体系荧光强度变化与三聚氰胺浓度呈良好线性关系,线性范围为8.0×10^(-7)~4.0×10^(-5) mol/L,检出限为1.33×10^(-8) mol/L。方法灵敏度高,选择性好,为食品有害添加剂三聚氰胺的检测提供了新手段。 展开更多
关键词 1 4 5 8-萘四甲酸二酰亚胺 三聚氰胺 真空气相沉积 分子自组装 纳米探针
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稀土Nd掺杂纳米SnO_2薄膜气敏特性 被引量:1
19
作者 高燕 李健 +1 位作者 吉雅图 韩菲 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第6期29-31,共3页
用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜。结果显示掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善。掺Nd5%的SnO... 用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜。结果显示掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善。掺Nd5%的SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,其中,对丁烷的选择性、灵敏度最好,在体积分数为7.2×10-3时,灵敏度可达到340,但对乙醇、丙酮气体的敏感性较差。 展开更多
关键词 纳米 真空气相沉积 气敏特性 SNO2薄膜 ND掺杂
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苯四甲酸二酰亚胺纳米材料制备及苏丹红Ⅲ传感测定 被引量:1
20
作者 高登辉 张海容 《化学传感器》 CAS 2018年第4期36-41,共6页
以苯四甲酸二酰亚胺(PMD)为原料,运用真空气相沉积-分子自组装法制备了PMD有机纳米材料。通过电镜(SEM、TEM)、荧光光谱、紫外光谱表征了其结构。通过PMD荧光特性,建立了测定苏丹红Ⅲ溶液纳米荧光化学传感器。该体系荧光变化与苏丹红Ⅲ... 以苯四甲酸二酰亚胺(PMD)为原料,运用真空气相沉积-分子自组装法制备了PMD有机纳米材料。通过电镜(SEM、TEM)、荧光光谱、紫外光谱表征了其结构。通过PMD荧光特性,建立了测定苏丹红Ⅲ溶液纳米荧光化学传感器。该体系荧光变化与苏丹红Ⅲ浓度呈良好线性关系,线性范围为4.0×10-6~4.0×10-5mol/L,检出限为2.03×10-7mol/L。该方法灵敏度高,选择性好,为食品添加剂苏丹红Ⅲ的检测提供了新途径。 展开更多
关键词 苯四甲酸二酰亚胺 苏丹红Ⅲ 分子自组装 真空气相沉积 纳米化学传感器
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