单工位金卤灯电弧管排气台排气头真空气路系统选用与设备研究

根据小功率金卤灯电弧管的注金卤丸、注汞、排气等工艺特点 ,设计其电弧管排气台 ,优化设计排气真空系统 ,分析电弧管内在质量的影响因素及在设备设计时采取的措施。

多功能复合磁控溅射平台的应用研究

磁控溅射具有沉积温度低、薄膜致密且牢固等优点,广泛用于制备超硬膜等各种功能性薄膜,但也存在离化率和沉积速率较低、溅射平台功能较单一等缺陷,难以实现特种功能薄膜严苛的技术要求。为解决以上问题,设计了具有前后双开门、可安装多个不同类型的溅射阴极、离子源和行星工件转架可接高压脉冲偏压等的复合溅射平台,对真空镀膜室、水冷系统、整体绝缘的多工位工件转架和真空气路系统进行了优化设计,并通过理论计算、有限元分析校核了该设计的可行性。