小型真空室真空测量与控制系统的设计与实现

针对小型真空室在生产、制造和检测中的应用现状,该文提出并设计了一种适用于中高真空度、带变频控制的小型真空室真空测量与控制系统,并对其进行了试验验证。该系统具有实时采集和上传真空室压力值以及变频器频率值、在线调节真空泵的转速以及单步调试的功能。试验采用计算机模拟上位机,通过基于Lab VIEW构建的监控平台,监测系统的工作状态,并对系统进行控制。试验结果表明,该控制系统各个部件运转正常,对真空室压力值和变频器频率值测量准确,能够在线调节变频器的频率值,在实现真空度控制的同时达到节约能源的效果,并且该控制系统的单步调试功能可以进行故障排查,为整机调试和检修带来方便。