电磁力驱动振膜真空计的研究

本文介绍了一种新的电磁力驱动振膜真空计，它的压强量程覆盖１０￣－２Ｐａ－ｌａｔｉｎ，如需要上限可高达２ａｔｍ。改进电路稳定性后，下限可低１０￣－３Ｐａ。与现今的静电力驱动振膜真空计相比，高压强扩展了一个量级。该振膜规管的特征是振膜两侧分别固定一个带磁极的驱动线圈和信号线圈。驱动线图通以激励文变电流后，产生一个交变电磁力，推动振膜和信号线圈振动，信号线圈再切割磁力线，从而感应出一个与压强有关的电动势。这种规管工艺制作简单，价格低。