基于恒温真空溅射循环脱气测定高压电力变压器绝缘油中9种溶解气体方法

为准确高效地测定绝缘油中特征气体的含量和变化率,引入全密封恒压采样和智能控制恒温真空溅射循环脱气样品前处理方法,采用并联双毛细管柱、FID和TCD三检测器和镍转化炉色谱系统,建立了同时测定绝缘油中H_(2)、CH_(4)、C_(2)H_(6)、C_(2)H_(4)、C_(2)H_(2)、CO、CO_(2)、O_(2)、N_(2)9种特征气体的真空溅射循环脱气-气相色谱定量分析方法,优化了脱气平衡温度、时间、真空脱气条件和色谱条件。结果表明,在试验浓度0.01μL/L~1.0 mL/L范围内,9种气体线性关系良好,相关系数(R2)在0.9968~1.0000之间,氢、烃类、CO_(2)和CO气体的检出限分别达2.0μL/L、0.1μL/L、5.0μL/L、5μL/L,定量限达到7μL/L、0.4μL/L、12.5μL/L、12.5μL/L。3个加标水平下9组分混合气体回收率在88.3%~99.2%,相对标准偏差(RSD,n=3)为0.27%~3.41%。该方法过程高效、结果准确可靠、重复性好,解决了油中含气量测定常规方法结果可靠性低、脱气率不稳定、结果与实际从在重大偏离、过程环境安全表现差等问题,可以快速准确地测定绝缘油中9种特征气体的真实含气量。

基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计

真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低,它为同类系统的设计提供了参考。

真空溅射加工用铁氧体粘接件的制备

主要介绍了高温粘接技术在铁氧体环真空溅射加工中的应用,通过对耐高温胶粘剂的优选及工艺实现途径的探索,较好地将多个铁氧体环粘接为一体。并在其外表面溅射镀铜,粘接强度及粘接精度在高温环境下均达到设计要求。

真空溅射氮化钛的研究

本文借助三极反应溅射TiN炉,研究了高速钢刀具进行真空溅射TiN时,其TiN沉积层厚度、残余应力、基体硬度等特性随不同沉积时间的变化规律;同时初步分析了间断溅射对沉积层形态的影响。研究证明:采用真空溅射沉积TiN的高速钢工模具可显著地提高使用性能,具有明显的经济效益。

磁控等离子多弧真空溅射镀膜机在陶瓷表面装饰的应用

通过借鉴光学玻璃表面镀膜的原理,适当对相关设备进行改造,增加离子轰击清洗系统和沉积过渡层等,使陶瓷等非金属材料表面能与钛、锆等金属材料紧密结合,形成防腐膜或耐磨膜,同时也可以对工件表面形状进行预先的设计,镀膜以后,再根据设计需要进行磨屑,把不需要的部分抛磨掉,生产出凹凸有致,色彩明快的艺术产品。这一工艺被广泛应用在陶瓷砖表面进行三度烧等深加工的产品上,制造出金碧辉煌的类黄金色、铂金色和七彩色的效果。完全可以取代用纯金材料制造出的金色和铂金色的产品。

磁控真空溅射镀膜机在陶瓷表面装饰中的应用价值

氧化锆陶瓷作为一种新型的陶瓷材料,具有强度高、硬度高、韧性好、耐磨、耐腐蚀性好、生物相容性好等特点,特别适合智能穿戴等电子消费品的外观装饰件。但是由于氧化锆陶瓷的透明度有限,难以变化出丰富多彩的颜色,限制了它的广泛使用。

重庆跃进机械厂:首用“真空溅射”进行轴瓦表面处理

重庆跃进机械厂轴瓦真空溅射车间内没有固有印象中的脏和乱，取而代之的是一排排干净整洁的现代化设备。在最易造成污水横流的“溅前处理”工作间，道路也做了人性化设计，让操作者远离废水。与传统的电镀设备相比，真空溅射在产品加工过程中不会产生有害气体和废水，对环境无污染，对操作者无伤害，从环保角度讲，运用“溅射”工艺进行轴瓦表面处理，是轴瓦电镀行业未来的一大走向。

热湾磁控真空溅射镀膜玻璃我国首先研制成功

随着我国建筑业的蓬勃发展，建筑物外墙墙体也日新月异，由砖墙发展到轻体的幕墙，又由有框铝合金玻璃幕墙，隐框玻璃幕墙，发展到铝板幕墙、陶瓷板、石材、单元式幕墙，国外已发展到铝合金隔热保温多功能玻璃幕墙。不论什么形式幕墙和各种类型的窗都离不开玻璃，由于镀膜玻璃具有优良的性能和诱人的镜面装饰效果，特别引起设计师及用户的青睐。

真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响

真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。

真空溅射制备复合材料双极电池基体的研究

本文简述了复合材料双极板的真空溅射制作工艺,采用该双极板制作双极性铅酸蓄电池,并与传统铅蓄电池进行比较,结果表明,该工艺制备的双极性铅酸蓄电池具有用铅少、质量轻、体积小、电池内阻低、大电流充放电、使用寿命长等优点,拥有广泛的应用前景。

压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性

在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性。同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显。例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小。结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70 nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零。

高速玻璃镀膜技术──真空磁控阴极溅射方法

高速玻璃镀膜技术──真空磁控阴极溅射方法关紫星，田申黑龙江省建材局黑龙江省建材科研所１概述镀膜玻璃在经济发达国家已普遍用作玻璃幕墙，国内的北京长城饭店、上海联谊大厦、上海瑞金宾馆和上海国际贸易中心也已采用镀膜玻璃作幕墙建筑。由于镀膜玻璃具有良好的吸热...

基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计

介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制。

超高真空磁控溅射生长铌薄膜

金属铌的超导转变温度高,在超导电子学和超导量子电路中有着广泛的应用。铌膜通常采用常规磁控溅射设备进行制备。为了改善铌膜的质量,利用超高背景真空的磁控溅射设备进行铌膜制备工艺的研究非常重要。结合真空分析表征、低温输运测量等技术系统性地研究了溅射参数对铌膜表面粗糙度和晶粒大小的调控,并分析了生长条件对铌膜超导转变温度和剩余电阻比的影响。利用硅上铌膜制备的共面波导谐振器,在10 mK温度,单光子激励下,本征品质因子超过一百万,表明超高真空磁控溅射生长的铌膜微波损耗极低。

磁控溅射Ti-Al-N复合膜的摩擦磨损性能分析

采用真空磁控溅射技术的方法制备了不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜,分别研究了室温及高温下不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜的摩擦磨损性能.研究结果表明,Al质量分数和温度都对薄膜的摩擦磨损性能产生较大的影响.室温时,当Al质量分数为49.97%时,薄膜的平均摩擦系数最小,为0.772 3;高温条件下,薄膜的摩擦系数显著低于室温条件下,当Al质量分数为39.51%时,平均摩擦系数最小,为0.379 2.

真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护

真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日常自主保养成本和周期。

对生产大面积建筑镀膜玻璃的真空磁控溅射阴极靶结构的研究

目前,生产大面积建筑镀膜玻璃广泛采用真空磁控溅射镀膜工艺,而这种工艺的核心和关键是磁控溅射阴极靶。因此对靶结构的研究也就成为真空磁控溅射镀膜工艺中的重要课题之一。本文对目前国内外使用的三种阴极靶结构,即同轴圆柱靶、矩形平面靶、旋转式新型柱状靶进行了分析,阐述了三种结构的优缺点,以及靶材刻蚀、膜厚均匀性和靶材利用率等方面的问题,总结出适合于生产大面积建筑镀膜玻璃的阴极靶结构。