基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计

真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低,它为同类系统的设计提供了参考。

真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响

真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。

基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计

介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制。

干式镀膜在织物表面改性中的应用

本文介绍了"绿色镀膜"技术——干式镀膜技术的应用领域,着重介绍了干式镀膜中的真空蒸镀膜技术、真空溅射镀膜技术、离子镀膜技术以及等离子体化学气相沉积技术的原理及与纺织相关的研究和应用,并对其应用前景进行了展望。

低密度超细银包铝复合软导线的制备工艺研究

采用磁控溅射真空镀膜技术制备银包铝复合线坯,通过后续不退火多道次拉拔,制备低密度的超细银包铝复合软导线。结果表明,磁控溅射处理时,银镀层厚度随走线速度加快而变薄,随溅射电流增加而增厚;拉拔加工要求银镀膜层厚度大于1.3μm,道次变形量宜小于7%;随银镀层厚度增加,制备的10μm超细丝的密度和抗拉强度均增大。将φ15μm的纯铝芯材采用优选条件溅射镀银膜,经拉拔加工制得φ10μm的银包铝复合软导线,其密度为4.87 g/cm^3,抗拉强度286 MPa,复层表面均匀致密无缺陷。

氧化铝陶瓷强化工艺

为了增强氧化铝陶瓷，显著提高其力学强度，国外新推一种氧化铝陶瓷强化工艺。该工艺新颖简单，所采取的技术手段是在氧化铝陶瓷表面，采用电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相蒸镀方法，镀上一层硅化合物薄膜，在1200～1580℃的加热处理，使氧化铝陶瓷钢化。经强化的氧化铝陶瓷的力学强度可在原基础上大幅度增长，获得具有超高强度的氧化铝陶瓷。

耐高温全金属化封装的光纤法布里-珀罗干涉仪和光纤光栅复合传感器

利用非本征型光纤法布里-珀罗干涉仪（EFPI）和光纤布拉格光栅（FBG）制作了一种温度和应力同时测量的复合光纤传感器。采用超高真空磁控溅射镀膜、电镀及激光焊接技术实现了光纤传感器的耐高温全金属无胶化封装。实验结果表明：在290℃温度条件下传感器的应力灵敏度为90pm／N，具备良好的线性测量能力（约0．9965）；传感器的温度灵敏度为12pm／℃，线性度可达到0．9988，其温度补偿效果较好。实验结果同时证明了采用超高真空磁控溅射镀膜及激光焊接技术实现光纤传感器耐高温全金属化封装方法的可行性与有效性。