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基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计
被引量:
3
1
作者
刘进志
郝长生
刘希太
《煤矿机械》
北大核心
2008年第1期179-181,共3页
真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低...
真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低,它为同类系统的设计提供了参考。
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关键词
继电器-接触器控制
PLC控制
真空溅射镀膜机
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职称材料
真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响
2
作者
曾志锋
阮毅
谢泽兵
《机电工程技术》
2021年第4期151-152,165,共3页
真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力...
真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。
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关键词
真空溅射镀膜机
工作气体
色差
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职称材料
基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计
3
作者
王彦
冯政权
《真空电子技术》
2004年第2期48-51,共4页
介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司S...
介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制。
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关键词
可编程逻辑器件
超高速硬件描述语言
人机界面触摸屏
太阳能
真空
集热管磁控
溅射
镀膜机
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职称材料
题名
基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计
被引量:
3
1
作者
刘进志
郝长生
刘希太
机构
石家庄铁道学院机械工程分院
出处
《煤矿机械》
北大核心
2008年第1期179-181,共3页
文摘
真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低,它为同类系统的设计提供了参考。
关键词
继电器-接触器控制
PLC控制
真空溅射镀膜机
Keywords
relay- contact control
PLC control
vacuum sputtering plating machine
分类号
TP39 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响
2
作者
曾志锋
阮毅
谢泽兵
机构
广东省机械研究所有限公司
出处
《机电工程技术》
2021年第4期151-152,165,共3页
基金
国家重点研发计划资助(编号:2018YFB1404200)。
文摘
真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。
关键词
真空溅射镀膜机
工作气体
色差
Keywords
vacuum sputtering coater
working gas
chromatic aberration
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计
3
作者
王彦
冯政权
机构
南华大学电气工程学院
出处
《真空电子技术》
2004年第2期48-51,共4页
文摘
介绍了基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的整体设计和工程实现过程。该设计以可编程逻辑器件为核心控制部件,它由工序控制流程模块、参数设置及调用模块和通讯模块三个模块组成;并基于超高速硬件描述语言在Xilinx公司SpartanⅡ系列的XC2S2005PQ-208芯片上编程实现;结合先进的人机界面触摸屏,直观地监控整个工艺过程,实现对太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机较理想的控制。
关键词
可编程逻辑器件
超高速硬件描述语言
人机界面触摸屏
太阳能
真空
集热管磁控
溅射
镀膜机
Keywords
FPGA
VHDL
HMI
SCS
分类号
TP332.3 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计
刘进志
郝长生
刘希太
《煤矿机械》
北大核心
2008
3
下载PDF
职称材料
2
真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响
曾志锋
阮毅
谢泽兵
《机电工程技术》
2021
0
下载PDF
职称材料
3
基于FPGA的太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机控制系统的设计
王彦
冯政权
《真空电子技术》
2004
0
下载PDF
职称材料
已选择
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