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真空漏率校准装置的使用 被引量:1
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作者 刘兴胜 解永蓉 郑颖 《计量技术》 2017年第1期75-77,共3页
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词 真空漏率校准装置 工作原理 真空 真空
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