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真空漏率校准装置的使用
被引量:
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作者
刘兴胜
解永蓉
郑颖
《计量技术》
2017年第1期75-77,共3页
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词
真空漏率校准装置
工作原理
真空
计
真空
漏
孔
原文传递
题名
真空漏率校准装置的使用
被引量:
1
1
作者
刘兴胜
解永蓉
郑颖
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《计量技术》
2017年第1期75-77,共3页
文摘
真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理,讨论了使用中应注意的六个方面。
关键词
真空漏率校准装置
工作原理
真空
计
真空
漏
孔
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
真空漏率校准装置的使用
刘兴胜
解永蓉
郑颖
《计量技术》
2017
1
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