真空热迁移法制备硅垂直多重结X射线探测器

用真空热迁移法，以高纯石墨作为加热元件，构成大面积均匀热板，并以纯铁为冷板，通过严格控制冷、热板的温度，形成稳定的热梯度场．采用高阻单晶硅作为探测器的基体材料，在硅片表面用激光来进行刻槽，在其表面上蒸铝后，置于热迁移场中进行热迁移．按照探测器的要求，蒸发钛－钯－银构成电极，经钝化处理后沉积适当厚度的Ａｌ层作为窗口，构成垂直多重结Ｘ射线探测器．探测器具有良好的光谱响应，对Ｘ射线有较高的灵敏度，适于较大的Ｘ射线剂量辐射测量和较宽的Ｘ射线强度变化的测量．